北京航空航天大学集成电路科学与工程学院超高真空脉冲激光沉积设备采购竞价结果公示

北京航空航天大学集成电路科学与工程学院超高真空脉冲激光沉积设备采购项目由集成电路科学与工程学院成立竞价小组通过竞价方式采购，现将竞价过程及结果公示如下：

1. 采购名称：超高真空脉冲激光沉积设备

2. 采购经办人：张昆

3. 竞价小组成员组成情况：

序号	姓名	单位	职称
1	张慧	北航智能微纳公共创新中心	副教授
2	柳洋	北航智能微纳公共创新中心	讲师
3	尉国栋	北航集成电路科学与工程学院	助理教授

4. 竞价结果详情：

序号	供应商（全称）	报价（万元）	数量	主要产品情况
				品牌	型号	性能指标
1	杭州海莱德智能科技有限公司	98.3	1	超高真空脉冲激光沉积设备	PLD-200	真空度优于5e-9 mTorr，支持6个一英寸靶材，PLC控制
2	合肥毅芯科技有限公司	97.5	1	超高真空脉冲激光沉积设备	PLD-UHV	真空度优于5e-9 mbar，支持6个一英寸靶材，PLC控制
3	启尚微科技（苏州）有限公司产品报价单	95.0	1	超高真空脉冲激光沉积系统	PLD-301	真空度优于5e-9mTorr，支持6个一英寸靶材，PLC控制

确定成交结果单位：启尚微科技（苏州）有限公司产品报价单

确定成交报价：95.0 万元

公示期从2022年05月30日起至2022年06月02日止。

各供应商或者其他利害关系人对本项目的过程及结果有异议的，可在公示期内以书面形式（包括联系人、地址、联系电话）将意见反馈至北京航空航天大学 集成电路科学与工程学院，监督人:梁恩和，联系电话：18810509156，邮箱：shaolin@buaa.edu.cn 。

2022年05月30日

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