SiC衬底匀胶机(GY202306349)自购结果公示
发布时间：2023-11-01
该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商：	三河建华高科有限责任公司
中标金额：	460000

公示开始日期	2023-11-01	公示截止日期	2023-11-02 09:54:52
采购单位	新一代半导体材料研究院	付款方式	货到付款30%，安装调试验收合格后付70%。
签约时间要求		到货时间要求
收货地址	山东大学

采购清单1

采购物品	采购数量	计量单位
SiC衬底匀胶机	1	台

品牌	建华高科	规格型号	WB-1200B
技术参数	Pos.1 —— 匀胶模块 数量： 1套 腔体材料： 进口PP 处理方式： 单片匀胶 吸盘材质： PEEK 接触模式： 小面积接触 晶圆吸附： 真空吸附 晶圆状态检测： 数显真空压力传感器 主轴转速： 0～3000rpm，最小调整量：1rpm 转速精度： ±1rpm(50～5000rpm) 主轴加速度： 100～20000rpm/sec FFU： 有（百级） Pos.2—— 热板模块 数量： 1套 处理方式： 单片预烘 热板表面材料： 铝制硬质阳极氧化 支撑方式： 陶瓷球支撑 接触间隙： 0.2mm 支柱材质： SUS304 温度范围： 室温～220℃ 最小调整量： 0.1℃ 加热方式： 云母加热片加热 温度控制： 自调整PID算法 温度检测报警： 有 温度均匀性： ±1.5℃@50℃～120℃、±3℃@120.1℃～220℃ 真空检测： 有（可单独调节） 其他要求： 加热盘便于擦拭 Pos.3 —— 冷板模块 数量： 1套 处理方式： 单片冷却 热板表面材料： 铝制硬质阳极氧化 支撑方式： 陶瓷球支撑 接触间隙： 0.2mm 支柱材质： SUS304 冷却方式： 厂务冷却水循环冷却 水温范围： 18℃～30℃ 温度检测报警： 有 真空检测： 有（可单独调节） Pos.4——AD模块 数量： 1套 Priming溶剂： HMDS Priming方式： 密闭真空环境、热板加热并气化喷洒HMDS 真空度： ≤-30kPa 温度范围： 50～200℃ 最小调整量： 0.1℃ 温度精度： ±1.5℃@50℃～120℃、±3℃@120.1℃～200℃ Pos.5 —— 胶液系统 口径： 4mm 数量： 1路 背洗功能： 有 洗边功能： 有 光刻胶供给： 精密胶泵供给 光刻胶供给量： 1～10ml 光刻胶供给精度： ±0.1ml 光刻胶粘度： ≤100Cp（1路） 光刻胶过滤： 有 光刻胶过滤精度： 0.1μm 液位检测报警： 有 补液方式： 手动 废液收集： 机台内置10L废液桶
售后服务	服务网点:外地;质保期限:1年;响应期限:报修后24小时;

资产与实验室管理部
2023-11-01