1.   采购货物有关信息
1、采购货物相关信息：
（1）货物名称：工艺气体分配控制系统
（2）技术指标：

序号	货物/服务名称	详细参数要求
1	工艺气体分配控制系统
	硬件和性能参数	1. 匹配LPCVD/RPS/RTP/SPTS/真空互联系统五台设备的工艺气体的分配和控制系统。 2. LPCVD设备配置6路O2/1路NH3/1路Ar工艺气体的分配和控制系统，配置氧气XCD侦测探头。 3. RPS设备配置O2/SF6/CF4各1路工艺气体的分配和控制系统。 4. RTP配置O2/Ar/He各1路工艺气体的分配和控制系统。 5. SPTS配置SF6/C4F8/PN2各1路工艺气体的分配和控制系统。 6. 真空互联系统配置Ar/O2/He各2路工艺气体的分配和控制系统，1路PN2工艺气体的分配和控制系统。 7. 配置的系统包含管道、阀门、压力表、接口、减压阀，配置的系统需符合半导体工艺气体相应纯度要求。 8. 配置的系统需要经过第三方的五项测试安全质量检测，能够满足半导体产线用工艺气体相应标准。
2	售后服务
	售后服务	1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。 投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。 2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在4小时内响应，24小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。 3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。 4、质保期1年。 5、优先考虑具有安全生产许可证、ISO9001质量管理体系、知识产权管理体系、省部级及以上工艺企业质量信用A级及以上等级相关资质的投标人。

（3）数量：

序号	产品	数量/单位
1	工艺气体分配系统	5套

（4）交货期：合同签订后60天内
（5）交货地点：北京航空航天大学微电子学院
（6）是否接受进口产品：是
2、采购预算（最高限价）：49.5万
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；  
    ① 具有独立承担民事责任的能力；
    ② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
    ③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱bhsme@buaa.edu.cn。截止报名时间：2023年11月xx日17时。
5、竞价会时间及方式：
时间：2023年11月xx日；方式：鉴于疫情影响，采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
11月xx日18:00前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：
地址：北京市海淀区北京航空航天大学北区第一馆
常晓阳 老师收，手机号：13167536270
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
常晓阳 老师，邮箱：changxiaoyang@buaa.edu.cn
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：