申购单号：CB106982022003316成交总额：220000.0
申购主题：高真空有机/金属蒸发镀膜机 送货时间：合同签订后15天内送达
采购单位：西安交通大学 安装要求：免费上门安装（含材料费）
竞价开始时间：2022-10-17 20:08:35 收货地址：
竞价截至时间：2022-10-20 21:00:00
币种：人民币
付款方式：1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。
备注说明：
质疑说明：如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
竞价结果：
采购项：高真空有机/金属蒸发镀膜机 品牌： 不限（满足参数即可） 型号： 不限（满足参数即可）
成交总价：220000.00
成交供应商：北京泰科诺科技有限公司
质保及售后服务： 按行业标准提供服务，整机免费保修期不少于1年，代理商需提供生产厂家授权书及售后服务承诺书原件；生产厂家需具有完善的售后服务体系保障及用户服务好评；生产厂家需提供相关工艺参数，设备交付时需现场演示制备。
技术参数： 主要技术指标： ※1.有机/金属镀膜室：镀膜室净尺寸不小于: L400mm×W440mm×H450mm；SUS304不锈钢制作,方箱式，配有前、后门，前门水平滑开式，材质为锻铝，便于手套箱内操作；后门为侧开门，便于设备清理维护；特点：镀膜室配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试、使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封可靠； ※2.真空系统：复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统； 分子泵：抽速不小于700 L/S，机械泵：抽速不小于9L/S； ※3.真空指标：极限真空：优于5.0×10-5Pa；(设备和手套箱分离，设备空载抽真空24小时内) 抽速：从大气抽至10-4Pa≤40min；(设备空载) 设备升压率≤0.8Pa/h; ※4.基片台：抽屉式结构，最大承载不小于120×120mm基片； 配有气动基片台挡板；基片 台电机驱动，旋转速度0～20转/分钟可调；基片台水冷温度：10～30℃，需免费提供掩膜板1套； ※5.金属蒸发源:3组；蒸发温度：室温～1300℃（真空状态）； 金属蒸发电源：功率3000W；2台（1台电源可切换2组蒸发源）； ※6.有机蒸发源：控温有机蒸发源（最高温度600°），2套；角度向心可调（提高材料利用率，均匀性好），蒸发速率可控；有机控温蒸发电源：2台（独立PID智能温控蒸发）； 7.气动挡板及源间防污隔板5套 8.控制方式：需采用PLC+触摸屏半自动控制； 9.报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 ※10.膜厚控制系统：需配SQM-160晶振膜厚仪1台，晶振探头1支，原装晶振片1盒，在线监测膜厚及速率，速率显示0.01埃/s； 11.冷却循环水机：功率不小于2P，制冷量不小于5.17kW，1台； 12.空气压缩机：排气量≥90L/min，储气罐容积≥38L(0.038 m3)，噪音: ≤68dB，1台； 13.文档资料： ①设备操作、维护使用说明书1套； ②设备电气原理图1套； ③设备易损件清单1套； ④装箱单； ⑤设备出厂合格检验证明。 ※14.其他要求： ①整机质保不低于1年； ②代理商需提供生产厂家授权书及售后服务承诺书原件； ③生产厂家需具有完善的售后服务体系保障及用户服务好评； ④生产厂家需提供相关工艺参数，设备交付时需现场演示制备。