埋层腔绝缘体上硅工艺开发流片服务采购意向公示 为便于供应商及时了解采购信息，现将我校快速采购意向公开如下：1、项目概况：（1）拟采购方式：上大迅采（2）采购项目名称：埋层腔绝缘体上硅工艺开发流片服务（3）预算金额：42万元（4）采购需求概况：本服务项目需要供应商基于需求方提供的设计版图进行C-SOI工艺流程的技术开发流片服务，主要工艺技术要求：腔体直径：50um~400um，下电极厚0.2μm，压电层厚1μm，上电极厚0.15μm，SiO2厚0.5μm，金属铝铜厚1μm。最终需要供应商向采购方交付成果:11pcsC-SOI工艺开发晶圆样品。服务期限:项目启动后3个月内。（5）预计采购时间：2023年9月（6）采购意向公示时间：2023-08-29~2023-09-032、联系方式：采购人名称：上海大学联系地址：上海市上大路99号用户单位联系人：王楠联系电话：17771435401采购代理机构：上海中招招标有限公司联系人：朱昌丽联系电话：021-66279152、021-66279718联系地址：上海市共和新路1301号D座2楼采招办监督员：谢金印监督电话：021-66130721本次公开的采购意向是本单位采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。上海大学2023-08-29