序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

拟面向中小企业预留

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

光刻机配套特殊气体输送系统

需求数量：1套 参数： 1、特殊气体种类：F2/Kr/Ne、Kr/Ne，配置全自动气瓶柜，具备相应功能； PN2吹扫单元配置PN2半自动气瓶架； 2、配置符合特殊气体的GMS系统、尾气处理系统； 3、气瓶柜、气瓶架、光刻机之间的特殊气体管路连接、测试，系统调试。

60

否

2023年11月