Source Bushing E17123040 个 1 VALVE,FLOW CONTROL 气体流量控制阀 E220 MFC E32000194 个 1 6寸热板（Assembly, Heated, Paddle, PLSH & PLTD, HDWR, 6"） 853-347147-006 个 1 6寸e-chuck（Assembly, Electrod, Lower, ESC, 6", MJR FL） 853-330540-061（718-094756-061） 个 1 1/4VCR垫片 SS-4-VCR-2-GR-BL(NI-4-VCR-2-VS) 件 300 3/8VCR垫片 SS-8-VCR-2-GR-BL 件 200 FEEDTHRU ASSY,SUPPRES E11034700 个 2 SCREW,REFLCETOR?反射极 E17036981 个 2 screw vented flat head6 32x5/1? E47000166 个 2 抑制极O-ring E35000234 个 2 束流终端石墨 E17028350 个 2 SETUP FARADAY防护石墨 E17001780 个 2 Bushing O-ring E35000310 个 2 Setup Faraday滑动密封O-ring E35000419 个 2 GAUGE,30-0-30 PSI,VCR E33000102 个 2 O-RING,BUNA N,3/8 ID? 2541204 个 2 O-RING,VITON,8-1/4 ID? 2542370 个 2 SPACER，SETUP CUP，SEAL? spacer Setup Faraday滑动密封 E17032810 个 2 VAP ANTIMONY 1 1712960 个 2 VAP ANTIMONY 2 1739150 个 2 BACKUP RING，13/16，SEAL SETUP?Setup Faraday滑动密封 E17037140 个 2 Orientor Lamp E60000014 个 2 真空电子管（抑制极机箱） E60000006 个 1 6寸focus ring（Ring, FAC, 6", ESC, GD R, Semi） 716-330504-064 个 1 陶瓷环 716-330121-001 件 1 Screw, Flat Head, KEL-F, 6-32 x 5/8 720-009531-101 个 4 Cover, Clamp Bolt (.47) 713-011585-004 个 4 BLT, CLP RTNG (INTL BLWS) 715-011565-002 个 4 GDP密封圈（O-Ring, 10.171 ID x .139 C/S） 734-008835-001 个 1 lift气缸（Lifter Bellows Seal Assembly） 853-031764-002 个 1 终点视窗（Window, QTZ, Headed Endpoint） 716-330355-001 个 1 终点视窗密封圈（O-ring, 5.25 x .103 C/S, FS） 734-094637-001 个 1 O圈 3700-01838 件 2 挡板 111316146 个 12 水冷散热器组件（不锈钢） 10010-024173A 套 1 5寸吸盘 SVG 个 1 高压电缆 　 件 100 E-SHOWER灯丝 1900400 件 20 O-RING 86*5.33 件 50 灯丝绝缘柱 1200321 件 40 灯丝屏蔽板 1789820(H0008) 个 20 放电枪绝缘柱/氮化硼 1708680 个 100 反射极屏蔽板 1790420(H0009) 件 10 双边绝缘柱 17032830 件 60 绝缘柱 5000024 件 60 侧板 1704990 件 12 放电腔盖板 1717480 件 6 同步带 20TB 个 15 液位传感器 1270-01387 件 2 加热视窗 0200-09158(HJ-SO-307) 件 4 O-RING 2-229 件 5 ORING FKM75 2-230 个 5 O-RING 2-231 件 5 氟胶圈 FKM75 2-240 个 5 ORING 2-244 件 5 ORING 2-245 件 5 ORING 2-248 个 5 ORING 2-029 个 5 ORING 2-132 件 5 ORING SI70 2-282 个 5 ORING 2-146 个 5 O形圈 2-148 件 5 ORING 2-149 个 5 O-RING 2-152 件 5 ORING 2-153 个 5 O-RING 3700-01261（2-163） 件 5 ORING FKM75 2-210 个 5 ORING 2-212 个 5 O形圈 FKM75 2-213 件 20 ORING 2-221 件 5 ORING 2-223 件 5 oring FKM75  2-226 个 5 ORING 2-228 个 5 ORING 2-118 个 5 ORING 2-119 个 5 ORING 2-120 个 5 O型圈 2-122 只 5 ORING 2-123 个 5 oring 2-125 个 5 ORING 2-128 个 5 ORING 2-135 个 5 ORING 2-136 个 5 ORING 2-137 个 5 ORING 2-138 个 5 ORING 2-140 个 5 ORING 2-141 个 5 ORING 2-142 个 5 ORING 2-143 个 5 ORING 2-145 个 5 ORING 2-260 件 5 O-RING 2-262 件 5 O-RING 2-263 件 5 O-RING 2-264 件 5 ORING 2-265 个 5 氟圈 FKM 2-266 个 5 O-RING 2-268 件 5 ORING FKM75 2-270 个 5 O-RING 2-271 件 5 ORING 2-272 个 5 O形圈 2-280 件 5 ORING 2-346 个 5 O-RING 2-379 件 5 O形圈 2-380 件 5 O-RING 2-115 件 5 ORING 2-117 件 5 O-RING 2-015 件 5 O-RING 2-019 个 5 氟胶圈 FKM75 2-021 个 5 O型圈 2-022 个 5 ORING 2-025 个 5 ORING 2-027 个 5 ORING 2-028 件 5 ORING 2-032 个 5 O-RING 2-033 件 5 oring 2-034 个 5 ORING 2-037 个 5 ORING 2-038 个 5 ORING 2-041 个 5 O-RING 2-108 件 5 O-RING 2-110 件 5 ORING 2-257 个 5 ORING 2-006 个 5 ORING 2-007 件 5 O形圈 FKM-75 2-011 件 5 ORING 2-013 个 5 氟圈 2-008 件 10 ORING 2-010 件 10 ORING 2-147 个 10 氟胶圈 FKM75 2-160 个 10 氟胶圈 FKM75 2-219 个 10 O形圈 2-220 件 10 O-RING 2-222 件 10 ORING 2-233 个 10 ORING 2-235 个 10 ORING 2-243 件 10 ORING 2-249 个 10 ORING 2-252 个 10 热偶规 3300044 件 20 反射极螺钉 1789840(H0006) 件 30 电离规 3300002 件 20 6寸前置承片盘弹簧 ZF0563 个 300 6"guide1 17S8976 个 2 6"guide2 17S8977 个 2 6"guide3 17A8409 个 2 硬区框架 HPA4978-00018 个 2 过滤芯 400945 件 9 过滤芯 300915 件 9 O-ring 2-447 （SI-70） 件 30 O-RING 3700-01008 个 20 石英管 0200-09432 个 1 O形圈 3700-01619 件 2 O形圈 3700-01578 件 2 I10 丝杆 4K172-316 根 2 定制压环 5寸 个 1 石英桶 0020-03398(0020-48171) 件 2 SiO2国产压环 0020-31654 件 8 放电腔固定杆 1200080 件 60 过滤芯 FT-8-SS 件 6 钨舟压块 100710998 个 40 E/B 枪灯丝Filament 210004027700（1872250） 个 20 步进电机 0090-02953 件 1 SLIT VAVLE 气缸 0090-09006 个 1 上盖板（钨） 17B4495 个 1 单孔底板 1705001 个 1 加热灯罩玻璃 101140859 个 20 高效过滤设备 970*300*80 个 3 灯旋转马达 251501 件 1 格兰富水泵 CM5 台 1 螺钉 3690-01020 个 5 卡簧 3690-01014 个 100 O-ring 3700-01740 件 5 石英环 0200-09735 件 2 O型圈 3700-01506 件 40 Screw,Sockethead,8-32 3/8~,Vented SST 3690-01458 个 30
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