招标
聚焦离子束刻蚀机
金额
800万元
项目地址
安徽省
发布时间
2023/08/03
公告摘要
公告正文
| 聚焦离子束刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院合肥物质科学研究院2023年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 采购项目名称： | 聚焦离子束刻蚀机 |
| 预算金额： | 800.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 电子束能量最高30keV；分辨率不低于9nm；温度2K-300K |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 备注： | |
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