天津大学浙江研究院（绍兴） - 竞价公告 (CB10056SX2024000005)
发布时间：2024-04-08 09:16:37 截止时间：2024-04-11 09:26:33
基本信息：
申购主题：回转CVD系统设备
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：195,000.00 人民币

收货地址：浙江省/绍兴市/上虞区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号	采购内容	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

回转CVD系统设备

1/套

195000

九所科技

定制

气路系统，CVD回转设备，尾气处理系统。本设备的处理对象为特殊材料，工艺流程主要包括真空获取、特殊气体气路洗净、5路气体控制填充、物料混合搅拌、密封加热控温、尾气无害化多级处理过程，为了实现工艺流程，系统装置 包括以下几个模块：加热系统，搅拌转动系统，气体控制系统，真空系统，远程控制系统、尾气处理系统、主气路安全系统。并包括几个辅助系统：压力检测系统、气体监测系统、洗净系统，系统装置均需确保高度密封。加热系统：三菱PLC加MCGS组态控制，能够自整定PID 参数，加热区长度：200mm，恒温区100mm，最高温度：1200℃，控温精度：±1℃，升温速率： 0-20℃/min；具备超温、欠温、断偶报警保护功能，设备电压 220V，功率3KW。 气体控制：量程50sccm，5路气体控制 1路气路使用CS200A型质量流量计 4路其他气体使用D07-19B型 准确度±0.5%F.S 安全系统：具备安全监测系统，具备应急自动处置功能，管路高度密封，无泄漏。 搅拌转动系统：伺服系统，转速连续可调，内部异形结构，可搅拌物料。 真空系统：具备防爆双极真空获取设备，抽气速率8m³/h，系统极限真空≤1Pa，具备手动挡板阀，具备压力监测功能，具备自动处置功能 尾气处理系统：多级尾气处理系统，具备尾气的无害化处理功能 压力检测系统：具备防堵塞压力监测系统，具备自动处置功能 气体监测系统：具备气体压力、流量监测、安全监测

按行业标准提供服务

CVD沉积炉报价单 20240328(1).docx