项目名称：高通量纳米光刻装置机柜水冷方案
项目编号：ZJLAB-FS-BX20230257
采购单位：之江实验室
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预算总价：490000
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供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品:高通量纳米光刻装置机柜水冷方案
采购数量:1
计量单位:项
预算单价:490000
技术参数及配置要求:根据目前现场光学系统功能及布局进行深化设计，完善电控柜组件的水冷系统改造，将现有风冷升级改造为液冷冷却方式，实现系统长期稳定工作并尽可能降低设备运行噪声，必须满足以下指标：
1.系统噪声：小于等于75dB（包含环境本底）；
2.长期稳定性：小于等于18℃@满功率24小时温升；
3.环境噪声：小于等于3.0mm/s@电控柜本体Vrms；
4.整体施工期限：六周内；
5.加装一体式红外热像仪。
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