高真空脉冲激光溅射薄膜沉积腔体(GY202309337)自购结果公示
发布时间：2023-12-09
该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商：	山东跃骏智能科技有限公司
中标金额：	229000

公示开始日期	2023-12-09	公示截止日期	2023-12-10 15:27:24
采购单位	物理学院	付款方式	合同签订后预付50%，货到验收合格后支付剩余尾款
签约时间要求		到货时间要求
收货地址	山东大学中心校区环境楼107

采购清单1

采购物品	采购数量	计量单位
高真空脉冲激光溅射薄膜沉积腔体	1	台

品牌	沈科仪	规格型号	PLD450
技术参数	主要技术参数： 极限真空度：镀膜室≤6.6？10-7 Pa(经烘烤除气后) 进样室≤5？10-2 Pa (经烘烤除气后) 抽速1.镀膜室从大气开始抽气：20分钟可达到5？10-3Pa 2.进样室从大气开始抽气：5分钟可达到10Pa 保压性能:系统停泵关机12小时后真空度：≤10Pa 真空室1.双室结构； 2.镀膜室前开门结构； 3.进样室上开盖结构； 4.优质304不锈钢材质； 5.镀膜室尺寸：Ф450mm； 6.进样室尺寸：约φ150mm*300mm； 7.具备腔外照明功能； 8.激光入射口到地面的距离为1200mm； 9.石英玻璃窗口：RF63，1块（可透过紫外248nm波段的JGS1石英玻璃，供激光入射使用）。 10.RF50红外石英玻璃窗口：1块（透过红外波段JGS3石英玻璃，供红外测温使用）； 11.预留过渡室接口、RHEED接口 进样室1.新型磁力样品传送杆，传送距离约700mm：1套；（手动操作）； 2.样品库组件：1套；（5个位置） 3.压力表，放在进气角阀外：1套； 4.RF100两用活开门：1套（其上有铰链、锁紧件、φ60观察窗）； 5.盲法兰：CF16、CF35各1个； 6.旁抽角阀： CF35 1个； 7.低真空规： CF16 1个； 8.电离规： CF35 1个； 9.电极引线： CF16 1个； 10.气动插板阀：CF100 1个； 旋转靶台1.靶台采用下部安装设计，靶材表面朝上； 2.一次可以同时安装6块靶材，靶材最大尺寸1英寸；（客户自购靶材） 3.每块靶材可实现自转，转速5～30转/分，连续可调，并显示转速； 4.靶位公转换位机构，PLC控制，编码器控制旋转精度，精度1°，可进行靶摆动，提高靶材利用率； 5.靶材屏蔽罩将6块靶材屏蔽，每次只有一个靶材露出溅射成膜，以避免靶材之间的交叉污染。 离子泵组件1、400L/S离子泵1台。 2、CF150板阀1台。 3、过渡接口1件。 工作气路1.镀膜室：气体流量控制器（氧气、100SCCM,氮气100SCCM、氩气100SCCM）充气阀CF16、管路、接头等：1路； 2.镀膜室：充气阀CF16、管路、接头等：1路（解除真空充氮气）。 3.进样室：充气阀CF16、管路、接头等：1路（解除真空充氮气）。 抽气组件1.脂润滑分子泵：1台（抽速1300升/秒）； 2.气动插板阀CF200：1台（用于分子泵与真空室隔离）； 3.旋片真空泵：1台（抽速13升/秒）；（与进样室共用）； 4.电动蝶阀CF200口径（国产）软件控制气压； 复合真空计5.镀膜室：1x105Pa-6x10-7Pa 6.进样室：1x105Pa-10-1Pa 工艺薄膜规 规格：133.3Pa 手动磁力传递1.在真空状态下，取送基片； 2.每次只取送1片基片。
售后服务	服务网点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后4小时;

资产与实验室管理部
2023-12-09