项目编号：XC22000385
根据《上海大学采购管理办法（试行）》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》，上海大学微电子学院因教学、科研需要，现以上大迅采方式采购热蒸发设备。
一、供应商资质要求
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、供应商未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）失信执行人名单、重大税收违法案件当事人名单，和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府严重违法失信行为记录名单的供应商。
二、项目概况
项目编号： XC22000385项目名称：热蒸发设备 预算金额：480000元
第一轮公告及报价响应时间：2022-11-08 17:00:00 ~ 2022-11-13 17:00:00
第二轮公告及报价响应时间：2022-11-13 17:00:00 ~ 2022-11-16 17:00:00（如有）
（以上海大学采招办官网首页各项目显示的倒计时截止时间为准，如第一轮已完成响应提交的，无需在第二轮重复提交）
交货期：60日 交货地点：上海大学嘉定校区
承办人：谢金印 联系电话：021-6613 0721
采购需求联系人：殷录桥 联系电话：15902171956
【迅采公告特别提示】
1、所有响应供应商所提交的支撑材料均须加盖红色供应商公章（供应商公章为黑色复印件、加盖合同专用章等其他印章的均不予认可），否则视为无效材料。
2、所有响应供应商如对于已发布的迅采公告中的技术参数、服务需求、公告附件中的内容有疑问的，请在响应前联系采购需求联系人进行充分的沟通和交流。如成交供应商因未联系采购需求人导致对于采购需求存在重大误解而未能在指定期限内保质保量交付或完成的，采购人有权向成交供应商追究责任并要求支付赔偿金。（适用于除家具以外的货物类与服务类项目）
3、由于家具类项目较为特殊、如本项目为家具类项目，响应供应商原则上应当在响应前主动联系采购需求联系人，充分了解项目相关需求，必要时采购需求联系人可要求潜在供应商在响应前现场实地踏勘或测量等。如成交供应商因未联系采购需求人导致对于采购需求存在重大误解而未能在指定期限内保质保量交付并完成安装验收的，采购人有权向成交供应商追究责任并要求支付赔偿金。（适用于家具类项目）
4、如本迅采项目需求文件中提到公告附件的，供应商需要先在采购管理系统中进行注册，注册成功并报名本项目后，可在本项目的响应界面查询并下载其公告附件。
5、若本项目需要采购的是仪器设备的，供应商所提交的仪器设备清单中不得包含有最新版上海市政府集中采购目录内商品，若有则整单将视为无效响应，将被判定为未实质性响应。
6、若本项目需要采购的是仪器设备的，所采购的仪器设备均为国产设备，无进口设备。如供应商提交响应的仪器设备包含有进口设备的，视为无效响应，将被判定为未实质性响应。（无论该设备现在何处，需要经过海关清关结算的均判定为进口设备）。
7、供应商所有提交的响应材料均须为中文文件，若原为外文说明书等佐证材料的，供应商需要同时附上中文翻译件。如供应商仅提交外文响应文件的，该指标视为未实质性响应。
8、供应商所有提交的响应文件落款日期均需要在本项目公告期内，否则整单将视为无效响应，将被判定为未实质性响应。情节严重的将被认定为提前泄露项目信息并严肃处理。（若本项目非第一次公告的，响应文件落款日期以本公告为准，不得直接使用往期落款日期的响应文件）。
9、供应商响应时的响应操作、响应说明、加盖公章的附件证明须保持完全一致。
采购清单

采购内容/设备名称	参考品牌	规格配置	明细预算（人民币/元）	采购数量	计量单位	总价
热蒸发设备		1) 真空室数量：单室不锈钢桶形立式结构、前开门形式、腔体外部焊接水冷管道；2) 腔体尺寸：Φ600mm*H600mm；3) 极限真空度：≤6.7×10-5Pa； 4) 系统漏率：5*10-7Pa.l/s；5) 静态升压：系统停泵关机后12小时后、真空度≤6Pa6) 系统充干燥N2解除真空、短时暴露大气后抽气至9*10-4Pa≤40min。7) 热阻蒸发单元配置标配两套蒸发电极、水冷电极4套、兼容蒸发舟、螺旋蒸发丝、带有自动档板。标配两套蒸发电源、最大功率3KW、可在两套蒸发舟之间自动切换、并支持不同阻值的蒸发舟。各蒸发舟均带有自动档板。8) 单片自转工件架：Φ300mm；平面工件架一套、可放置直径为Φ200mm（Φ8英寸）样品1片；工件盘可调速自转、转速0～20rpm可9) 镀膜不均匀性：≤±5％（Φ8英寸范围内）	480000	1	台	480000

技术参数

参数名称	是否需要附件证明	评分等级	参数说明
样品台	是	核心指标	可安装100*100的的基片托盘，配套的掩膜图案结构、图形根据要求定制，图案可更改；基片盘可旋转，采用伺服电机驱动，旋转速度0-60转/分可调；提供一套定制掩膜板，样片与掩膜板的配合间隙小于0.3mm；挡板采用磁流体密封，在基片旋转的任意角度均可挡住或打开，通过软件控制。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。)
蒸发源	是	核心指标	共4组蒸发源，可兼容蒸镀金属和有机材料，源与源之间配有防止交叉污染的防污板；蒸发电源功率1.4KW及以上，可切换到4组蒸发源中任意1组，具有恒流和恒压二种驱动模式，二者可切换，可以通过软件控制，可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率；有机和金属蒸发源均带有水冷功能，且有机源和金属源通用。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。)
膜厚测量系统	是	核心指标	采用石英晶振膜厚仪在线实时测量蒸发的速度和厚度；膜厚仪速率测量显示精度优于0.01A/S，厚度精度优于1A；频率分辨率0.01Hz，可以PC机上操作，带有PID环功能，通过膜厚仪自动控制蒸镀速率，可以显示蒸镀曲线；石英晶振探头2个，6MHz，采用快速卡扣式结构更换晶振片，采用螺纹压紧卡扣式密封结构。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。)
蒸发腔体	是	核心指标	腔体采用SUS304不锈钢制作，其内部尺寸不小于300×300×530mm；腔体为方形，有前后二个可完全打开的门，一个为滑动式开启，用于连接手套箱，一个为旋转开启或滑动式开启，用于维护清理；腔体内表面采用电解抛光处理，表面精糙度小于等于0.8；腔体漏率：整体漏率优于5×10-10Pa.m3/S，保压12小时，压强小于10Pa。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。)
蒸镀真空系统	是	核心指标	极限真空优于3.5×10-7torr；主泵抽速不低于700L/S，采用分子泵；前级泵抽速不低于15 m3/h；气动高真空插板阀，通径大于等于150mm；带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能，防止误操作；腔体充氮气，从大气抽至3*10-6torr的时间要求小于15分钟；提供腔体残余气体分析分析报告。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。)
蒸镀软件控制系统	是	非核心指标	采用PLC 触摸屏控制模式；真空系统的控制分为手动和自动二种模式；带有膜厚测量控制屏，可通过膜厚仪触摸屏的相关操作；带有蒸发电源控制模块，通过软件完成蒸发电源的自动升温、降温，也可手动输入控制数据；带有伺服控制模块，可完成旋转速度，旋转角度，定位角度的控制；可完成更换掩膜板的操作。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。)
手套箱尺寸参数	是	非核心指标	箱体整体长度≤1800mm、深度≤750mm、高度≤900mm），材质为SUS304不锈钢，厚度3mm，箱体背部可对接真空镀膜仪；(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。)
手套箱性能参数	是	非核心指标	水、氧含量：H2O﹤1ppm，O2﹤1ppm； 氧分析仪：采用传感器，材质为电化学燃料电池，不接受氧化锆材质探头，量程：0-1000ppm。精度：0.2ppm或量程的1%。氧分析仪需要自带数显功能；水分析仪/露点仪：采用传感器，材质为氧化铝膜探测器，量程：-100℃到20℃（露点）或者量程：0-23000ppm，精度：2℃。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证，响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的，视为没有实质性响应，将被判定为无效响应。)

资质要求

要求名称	是否需要附件证明	要求说明
营业执照（三证合一）	是	请上传相关证明材料(须加盖供应商公章)
信用中国证明	是	信用信息报告日期最早应为本项目迅采公告发布之日(须加盖供应商公章)

商务要求

要求名称	是否需要附件证明	要求说明	评分内容
同类业绩	是	供应商需提供2019年11月1日同类设备的销售合同，其中需体现合同的签约主体、销售设备名称、签订日期等合同要素的相关内容。同类业绩合同供应商需分列填报上传，合并文件填报或集中填报在同一格子内的算1份业绩。
培训计划	是	到货后30天内供应商提供面向不少于3人、不低于8小时的线上或现场培训指导，供应商响应时提供详细的培训计划。
质保期	是	自到货并验收合格之日起，最低要求质保期2年。	2年 3年 4年及以上
付款方式	是	银行保函。合同签订后，乙方需在银行办理合同总额80%的押金担保手续，甲方收到合同总额80%的银行保函后，向乙方支付100%货款。合同总额80%的银行保函在甲方对货物验收合格并签署验收报告后退还乙方。银行保函是1张合同总价80%额度的保函，有效期至 交货期加60日（日期）止。
交货期	是	在签订合同后60日内交货。

三、质量保证与售后服务（货物类）
1、质保期为自用户签署最终验收报告之日起，在质保期间出现故障，供应商在接收到用户通知后于1小时以内予以回应、提出解决方案，4小时内维修人员到场，72小时排除故障（特殊情况和不可抗拒因素除外）。在此期间，设备发生任何非误操作造成的故障和损坏，均由供应商负责免费修复，失效零件予以免费更换，更换时所发生的费用均由供应商负担。质量保证期内，停机待修时间不得超过一个月，若超过一个月，则保修期延长待机时间的3倍。同时，提供软件免费升级。
2、货物到达学校后7天内由供应商负责免费安装、调试与技术培训，调试仪器所需耗材由供应商自行负担。仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训：参与培训人员3～5人；内容：设备的工作原理、操作步骤、正常维护和应用等，使培训人员能够正确、熟练操作及掌握仪器简易的故障判别及排除、维修。培训人员必须为供应商公司专职技术人员，不得派出学生或供应商用户等非公司专职技术人员提供培训，否则用户方将拒绝接受。
3、 供应商根据合同提供的货物应是全新的未使用过的而且是符合国家有关制作标准和环保要求。供应商提供详细的中文操作、维护指南。
4、 定期维护，终身保修，只收取零部件成本费。
四、供应商须知
1、供应商须先完成并通过供应商注册，方可进行响应。注册网址：https://czb.shu.edu.cn/
2、供应商应具有连续多年从事该设备生产或销售经历，并有良好的声誉，且能提供良好的技术支持。
3、供应商应完全按照标书规定的设备名称、技术要求、数量报价、供货，我方不接受不确定报价。
4、供应商应保证随设备提供必要的安装、调试、培训、维修等服务，并提供合同所约订的免费维修时间及终身成本维修。
5、响应报价中标明的价格或在评审后确定的价格在合同执行过程中是固定不变的（除非采购人对设备提出新的要求）不得以任何理由予以变更。
6、供应商应在响应文件中注明货物的交货期。
7、若成交供应商的报价超出本次项目的经费预算，采购人有取消本次采购的权利。
8、供应商须登录上大迅采系统对每一项要求项进行一一响应，提交证明和支撑材料（加盖单位公章），无证明和支撑材料视为没有响应。
9、响应供应商须保证所提交的响应文件、资料的内容真实、完整、有效、一致，如递交虚假的响应文件、资料或填写信息错误导致的与本项目有关的任何损失由供应商承担。
上海大学
2022-11-08