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项目名称：8英寸MEMS晶圆生产线之立式合金炉、立式氧化炉、立式退火炉

招标项目编号：0709-244035614022

招标范围：设备名称：立式合金炉 设备数量：1台 设备用途：用于器件加工中的合金工艺。 设备名称：立式氧化炉 设备数量：2台 设备用途：用于器件加工中的高温氧化工艺。 设备名称：立式退火炉 设备数量：2台 设备用途：用于器件加工中的高温退火工艺。

招标机构：中国仪器进出口集团有限公司

招标人：安徽华鑫微纳集成电路有限公司

开标时间：2024-04-24 09:30

公示时间：2024-05-14 15:24 - 2024-05-15 17:00

中标结果公告时间：2024-05-20 11:35

中标人：北京北方华创微电子装备有限公司

制造商：北京北方华创微电子装备有限公司

制造商国家或地区：中国