成交信息
成交供应商:武汉普迪真空科技有限公司
成交金额:260000.0
选标理由:符合要求,价格最低
项目名称:高真空有机热沉积系统
项目编号:FJNU-JJ-220087
公告开始日期:2022-08-12
公告截止日期:2022-08-19
采购单位:福建师范大学
付款方式:货到验收合格付清全款
联系人:
联系电话:
签约时间要求:成交后15日内
到货时间要求:成交后90个工作日内
预算总价:265000元
收货地址:福建省福州市科技路1号福建师范大学
供应商资质要求:符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
采购清单1
采购商品:高真空有机热沉积系统
采购数量:1
计量单位:台
所属分类:其他仪器
预算单价:265000.0
技术参数及配置要求:真空腔室 304L不锈钢方形真空室,内部电抛光,真空室直径约400mm,高450mm,立式前后开门结构。 前门导轨采用双导轨设计,避免右侧导轨伸出到手套箱一侧,节省手套箱空间的同时外观更协调;手动锁紧。后门采用手动铰链结构,扣紧密封操作简单。系统提供不锈钢内衬,内衬为多片结构,方便拆卸安装。 真空系统 FF200/1200+BSV24旋片泵真空系统+气挡板阀侧部抽气系统,真空测量:一低一高数显复合真空计; 真空极限 优于2.0×10-5Pa(手套箱环境);漏率:优于5×10-8Pa*L/S(国家标准);关机12小时后,真空度≤5Pa; 抽速 抽气时间:大气压~5*10-4Pa小于20min(手套箱环境); 基片台 抽屉式结构,承载最大小于100×100mm 样品,配气动挡板。 样品台旋转:样品片台可旋转,0~30转/分 连续可调。 蒸发源 3组金属蒸发源,3组有机蒸发源 膜厚控制系统 膜厚系统配INFICON-310单水冷探头;显示控制精度0.01埃; 控制方式 德国西门子PLC+德国西门子7寸触摸屏手自动控制;具体自动抽真空、自动停机、自动镀膜功能可输入速率及终厚,PID调节自动控制蒸发电源输出。 报警及保护 缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统。
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