项目名称	有机-金属真空热蒸镀仪	项目编号	JJ2019000271
公告开始日期	2019-11-27 15:08:59	公告截止日期
采购单位	福州大学	付款方式	甲方先向乙方预付合同总额的40%，全部货物交货并最终验收合格后，甲方再凭验收合格材料向乙方支付50%的合同款，乙方提供全额的正式发票，余款10%待全部货物验收合格正常运行一年后付清。
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系电话	中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求	成交后7天	到货时间要求	成交后110天
预算	490000.0
收货地址	福州大学阳光科技大楼
供应商资质要求	符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
有机-金属真空热蒸镀仪	1	台	无

品牌	方昇光电
型号	FS380-S6
技术参数及配置要求	1. 采用一体式机架，控制部分与真空室集成在一起，可整体移动，采用优质铝型材搭建； 2. 机架底部安装支撑脚及脚轮，可随意推动；也可撑起地脚固定住设备； 3. 相关盖板要求采用阳极氧化处理，防止表面氧化变色； 4. 提供3套基片和掩膜结构， 一：可安装6个尺寸30mm*30mm的基片托盘，可真空状态下更换1次掩膜板； 二：可安装4个尺寸30mm*30mm的基片托盘，可真空状态下更换2次掩膜板； 三：可安装15个尺寸30mm*30mm的基片托盘，真空状态不需要跟换掩膜版。 5. 样品盘可旋转，旋转速度0-30转/分可调； 6. 样品、挡板转动采用磁流体密封，通过软件控制； 7. 共6组蒸发源，均为水冷电极，6组蒸发源可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有防止交叉污染的防污板，源与源之间安装有热影响消除装置； 8. 配有防护板来防止蒸发源的交叉污染，打开方式为上下，速度可通过气阀调节； *9. 配2台蒸发电源，功率1.4KW以上，用于蒸发金属和有机，可切换到6组蒸发源中任意1组。蒸电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过手动控制； 10. 采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚，可以实时测量蒸发的速度和厚度； *11. 膜厚仪一套，可同时显示4个膜厚探头的读数，速率测量显示精度优于0.01A/S，厚度精度1A；频率分辨率0.012HZ，频率稳定性±2ppm（0-50度），测量周期0.1-1秒可调。带有PID环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率； 12. 石英晶振探头4个， 6MHZ以上，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用UBQD密封结构； 13. 腔本由SUS304制作，其内部尺寸约为380*380*530mm； 14. 腔体有前后二个可完全打开的门，一个为滑动式开启，用于连接手套箱，一个为旋转开启或滑动式开启，用于维护清理； 15.腔体内表面采用电解抛光处理，表面精糙度小于等于0.8；外表面采用拉丝抛光，表面精糙度小于等于0.8；整体要求美观，无擦伤及划痕； 16. 腔体漏率优于5X10-10Pa.m3/S，极限真空优于4*10-5Pa，从大气抽至5.0*10-4Pa,时间小于15分钟（腔内充氮气，手套箱操作）； 17. 主泵抽速不低于600L/S，采用分子泵； 18. 前级泵抽速不低于16立方米每小时； 19. 气动高真空插板阀，口径不小于150mm； 20. 带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。 21. 采用触摸屏式控制，包含安全互锁设置，以防止误操作。 *22. 该设备需要非标订制，投标人投标时必须提供以下书面盖章承诺：中标后可按照实际场地和实验需求，对蒸镀仪进行非标订制，同时对各项指标进行验收，若不能满足客户实验需求，买方可退货；同时中标人还需要承担因此带来的一切损失和后果。 *23. 提供样机蒸镀工艺培训，要求有专业的蒸镀工艺人员现场培训，包括有蒸镀技巧，共蒸发注意事项，掺杂蒸发技巧，常见有机材料选用注意事项等，并提供设备样机试用时的有机及金属材料,同时对各项指标进行验收。 试机器件结构：HAT-CN（10 nm）/NPB（60 nm）/Alq（60 nm）/LiF（2 nm）/Al（120 nm） 需要达到最低器件性能：@电流密度5 mA/cm2，电压4.8 V，3.6 cd/A，2.4 lm/W，色坐标（0.35,0.53），波峰532 nm *24. 投标人须为境内合法注册登记的法人，中标后不允许分包、转包。投标人必须按要求在报价说明一栏分别填写所投产品生产厂商（全称）和产地信息，如不提供，视为无效投标。 *25. 甲方先向乙方预付合同总额的40%，全部货物交货并最终验收合格后，甲方再凭验收合格材料向乙方支付50%的合同款，乙方提供全额的正式发票，余款10%待全部货物验收合格正常运行一年后付清。
售后服务	质量保证期:验收合格之日起算两年;

公告来源：http://www.yuncaitong.cn/publish/2019/11/27/16EABC47FA122A916FCC4E412AC34948.shtml