热压炉(GY202308991)自购结果公示
发布时间：2023-12-06
该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商：	江苏星特亮科技有限公司
中标金额：	348000

公示开始日期	2023-12-06	公示截止日期	2023-12-07 15:49:00
采购单位	新一代半导体材料研究院	付款方式	签订合同后预付70%，30%尾款验收合格后支付。
签约时间要求		到货时间要求
收货地址	山东大学

采购清单1

采购物品	采购数量	计量单位
热压炉	1	台

品牌	星特亮	规格型号	DRY50A
技术参数	本设备主要应用于6"～8"碳化硅籽晶的不同粘接工艺，满足碳化硅单晶工艺技术的实验研究、产业化生产的需求。 1、加热电源： DC60V，200A2、加热功率： ≤10kW 3、电源总功率： 15KVA 4、加热方式： 下托盘加热 电阻式加热 5、最高加热温度： 800 ℃ 6、常用温度： 40 ℃--600℃ 7、控温精度： ≤±1℃ 8、真空室尺寸： Ф500×700 mm（D×H） 9、上压头直径： φ190mm+Ф260mm 10、加热盘直径 Ф320mm11、最大压力： 1.5 T（单向加压） 12、压杆行程： 0～130mm（设置限位报警） 13、机械施压： 电动 14、冷态极限真空度： ≤5.0Pa（冷炉） 15、热态极限真空度： ≤20Pa16、 温度控制方式： 精密温控器(热电偶测温) 17、冷却水： 流量：3T/h； 压力：0.2～ 0.26MPa, 进出水压差≥0.15MPa 18、保护气氛： 高纯氩气、高纯氮气 19、控制方式： PLC+触摸屏 20、主机尺寸： 2200×1400×2050（长×宽×高）
售后服务	服务网点:外地;质保期限:3年;响应期限:报修后48小时;

资产与实验室管理部
2023-12-06