采购结果详细（202300121781）---- 中山大学

申购单主题：	优普莱微波等离子体化学气相沉积系统升级加装气路	申购单位：	物理学院
申购备注：

设备名称			品牌	型号	数量	报价类型
优普莱微波等离子体化学气相沉积系统升级加装气路			优普莱	UP-206	1	国内含税价/人民币
售后服务	需上门安装，并调试为可用，满足设备使用三甲基硼气体的需求
规格	MFC（质量流量控制器）1个，气动阀3个，过滤器1个，进气管3个，VCR垫片15个，PU管4个，DB9定制线1个，快插弯头3个
中标供应商			单价		初选理由
深圳优普莱等离子体技术有限公司			30000		最低价原则