序号

项目名称

建设地点

建设单位

建设项目概况

公众参与情况

相关环保措施承诺

污染防治措施

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浙江芯动科技有限公司智能微传感器产业化平台建设项目

嘉兴市南湖区亚中路551号2号楼

浙江芯动科技有限公司

浙江芯动科技有限公司拟在嘉兴市南湖区亚中路551号2号楼租用车间实施智能微传感器产业化平台建设项目（一期）。项目租用面积3669平方米，购置氧化扩散炉、涂胶显影机、光刻机、刻蚀机、清洗甩干机、键合机、硅片机械减薄机等生产设备，形成年产20万个MEMS敏感芯片的生产能力，总投资11330万元。

1、建设单位于2017年9月4日—2017年9月15日、2017年11月27日—2017年12月11日分别在嘉兴市科技城管委会、嘉兴市南湖区亚太

社区、嘉兴市南湖区大桥镇东洋浜村、嘉兴市南湖区江南社区、嘉兴市南湖区天明社区、嘉兴市南湖区八里社区的公告栏进行了两轮张贴公示。

2、建设单位于2017年11月29日在嘉兴日报上刊登了“浙江芯动科技有限公司智能微传感器产业化平台建设项目（一期）环境影响评价公众调查座谈会公告”，在2017 年11 月29日分别向嘉兴市科技城管委会、嘉兴市南湖区亚太社区居民、嘉兴市南湖区大桥镇东洋浜村居民、嘉兴市南湖区江南社区居民、嘉兴市南湖区天明社区居民、嘉兴市南湖区八里社区居民、附近企业、环保专家和环评单位发出了与会的邀请函，被邀请人均当面表示同意参加会议，座谈会如期于2017年12月15日 在嘉兴市南湖区原大桥镇政府307 会议室进行，与会人员包括嘉兴市科技城管委会、嘉兴市南湖区亚太社区居民、嘉兴市南湖区大桥镇东洋浜村居民、嘉兴市南湖区江南社区居民、嘉兴市南湖区天明社区居民、嘉兴市南湖区八里社区居民、附近企业，与会代表不反对本项目建设，并对实际生产和监管提出了相应要求。

3、根据相关环保法规要求，在环评编制阶段进行环境影响评价公示，建设单位于2018年3月29日-2018年4月13日在浙江省政务网站进行该项目的全文公示，公示期间建设单位、环评单位和环保主管部门均未接到任何单位和个人对本项目提出异议和反对意见。

建设单位承诺：将按照环评提出的相关要求实施项目建设，确保落实各项污染防治和生态保护措施。

营运期污染防治措施：

1、水污染物：①生活污水：排水实行雨污分流、清污分流；雨水排入雨水管网，生产废水经处理后纳管排放；②生产废水：项目废水施行分类收集，分质处理。建设1套设计处理能力为80m3/d的磨划片废水处理设施；1套设计处理能力8m3/d的含氟废水处理设施；1套设计处理能力为90 m3/d的酸碱废水处理设施。含氟废水采取CaCl2、NaOH反应沉淀+PAC、NaOH、CaCl2混凝沉淀+PAM絮凝沉淀，然后纳入酸碱废水处理设施处理；磨划片废水采取PAC、NaOH混凝沉淀+PAM絮凝沉淀，然后纳入酸碱废水处理设施处理；酸碱废水采取二级中和沉淀处理达标后纳管排放；制备纯水过程产生的浓水优先回用于地坪冲洗、冷却塔补水及废气治理喷淋用水，其余直接纳入污水管网排放；生活污水经化粪池收集后排入市政污水管网；建设规范的污水排放口，并按照要求设置检查井及标识牌。

2、大气污染物：①废气（VOCs、氟化物、氯化氢、NH3、SO2、NOx）：涂胶机、溶剂清洗槽上设置为密闭围护结构，上方安装吸风口，废气经收集后与等离子体去胶机泵排出的废气、光刻去胶洁净车间密闭抽风排气一并排入活性炭吸附处理设施处理，风量4000m3/h，然后通过15m排气筒高空排放（2#）；配酸操作台、腐蚀清洗槽、硫酸去胶槽均设置为密闭围护结构，上方安装吸风口，废气经收集后与刻蚀、腐蚀洁净车间密闭抽风排气一并进入中央碱液洗涤塔进行处理，风量15000m3/h，去除效率90%以上，废气最后于15m以上排气筒（1#）高空排放；干法刻蚀产生的含氟废气在反应腔中通过真空系统被抽走，真空泵尾气通过管道先排入1台Scrubber加热燃烧喷淋水洗式处理器处理，然后去中央碱液喷淋塔吸收处理，最后于15m以上排气筒高空排放（1#）；淀积废气在反应腔中通过真空系统被抽走，真空泵尾气通过管道先排入另1台Scrubber加热燃烧喷淋水洗式处理器处理，然后去中央碱液喷淋塔吸收处理，最后于15m以上排气筒高空排放（1#）；天然气热水锅炉燃料烟气经15m以上排气筒高空排放。

3、固体废物：①委托资质单位处置；②鉴定之前暂按危险废物从严管理，鉴定后如属危废须委托资质单位处置；③外运无害化处置；④外售综合利用；⑤环卫部门清运。

4、噪声：采取车间综合隔声、减振措施，加强管理，减少对周边环境影响。

5、其他：运营过程中保证各类设备尤其是废气收集处理装置和废水处理设施的正常运行，定期进行设备检修，及时维修故障的设备，减少因设备问题产生的污染物事故排放。