上海交通大学超高真空多靶磁控溅射设备国际招标公告 项目概况 上海交通大学（以下简称采购人）委托上海国际招标有限公司（以下简称采购代理机构）就电 子信息与电气工程学院所需的超高真空多靶磁控溅射设备进行国际招标。 一、项目基本情况 项目编号：0705-244006001107/校内编号：招设 2024A00060 项目名称：上海交通大学超高真空多靶磁控溅射设备 预算金额：340 万元（人民币）（大写：人民币叁佰肆拾万元整） 最高限价（如有）：340 万元（人民币）（大写：人民币叁佰肆拾万元整）采购需求：

序号	货物名称	简要技术规格	数量	交货期
1	超高真空多 靶磁控溅射 设备	1）货物用途：主要用于沉积加热器、温度 传感器的高性能敏感膜，包括 NiCr、过渡 金属氮氧化物如 ZrOxNy、CrOxNy，以 及冷冻靶组件的氧化硅、金等多种材料，此外，还能服务于冷冻靶组件引线层种子 层沉积、金锥薄膜沉积以及球壳铝沉积等 特殊材料，用于帮助完成各种常规靶以及 异性靶的薄膜沉积。此外，超高真空多靶 磁控溅射设备可以用于制备各种金属膜、合金膜、半导体膜、陶瓷膜、介质膜等，以及开发纳米级单层、多层及复合膜层，如多晶硅、TiN、Si3N4、以及各种超导复 合材料薄膜，由于其超高的真空度，其沉 积的薄膜具有较高的性能参数，如低应 力、高结晶度等等，在探索适用于靶组件 的新型功能复合材料方面也具有较大潜 力。 2）其他技术要求详见第八章第二部分《技 术规格》。	1 台	签订合 同后 11 个月内 交货

注：本次招标采购的设备已完成进口产品论证备案。 合同履行期限：签订合同后 11 个月内交货 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本项目为机电产品国际招标项目，相关法规与政策按照《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》执行。 3.本项目的特定资格要求： 1） 具有独立法人资格及独立承担民事责任的能力，在法律和财务上独立，根据商业法规合 法运作； 2） 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； 3） 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力； 4） 具备可靠的售后服务能力，拥有专业技术支持人员以及硬件维修工程师负责售后服务；5） 若投标人不是投标货物的制造商，则必须提供投标货物制造商出具的针对本项目的唯一 授权书； 6） 投标人或投标货物制造商近 3 年内（2021 年 10 月至今）须具有不少于 2 项同类设备的 销售业绩（提供业绩清单及合同复印件）； 7） 参加本次招标活动前 3 年内，投标人在经营活动中没有违法记录，无利用不正当竞争手 段骗取中标，无行贿犯罪记录； 8） 采用源自中华人民共和国关境内（不包括香港、澳门和台湾等单独关境地区）制造的产 品（含由境内海关特殊监管区域内企业生产或加工（包括从境外进口材料、部件）的产品）参与投标的境内投标人，应当符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条第一款所规定 的资格条件（应在投标文件中提供《中华人民共和国政府采购法实施条例》第十七条第一款 所规定的资格证明文件）； 9） 投标人须在投标截止期之前在国家商务部认可的“机电产品招标投标电子交易平台”（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册 及招投标业务登记（由于机电产品交易平台的注册及登记核验需要一定时间，如投标人在决 定参加本项目投标后请尽早登录该网站查询自身是否已完成招投标业务登记并处于有效期内，以免因临近投标截止时间再来办理注册及登记事宜而影响正常投标）。 10）本项目不允许联合体投标。 三、获取招标文件 时间：2024 年 10 月 11 日起至 2024 年 10 月 17 日（提供期限自本公告发布之日起不得少于 5 个工作日），每天上午 9:00 至 12:00，下午 12:00 至 16:00。（北京时间，法定节假日除 外） 地点：上海国际招标有限公司网站(https://www.shabidding.com)在线领购 方式：有兴趣的潜在投标人可从 2024 年 10 月 11 日 9:00 时起至 2024 年 10 月 17 日 16:00 时止，每天（节假日除外）在上海国际招标有限公司网站(https://www.shabidding.com)在 线领购招标文件，在上述规定的招标文件出售截止期之后将不再出售本项目的招标文件。本 招标文件每套售价为人民币伍佰元整（RMB 500.00）或捌拾美元（USD 80.00），售后不 退。未从招标机构处购买招标文件的潜在投标人将不得参加投标。供应商首次使用该平台需 要完成一次性注册，注册时需要提供《供应商注册专用授权函和承诺书》（可从供应商注册 页面下载）和营业执照等盖章扫描件，供应商应当提前准备。已注册的潜在投标人可从网站 首页“公告公示”栏搜索相应项目进入在线领购招标文件流程。对于拟采用美元形式支付招 标文件购置费，或者难以进行在线领购的潜在投标人，请电话或邮件联系招标机构联系人获 取其他领购方式。 售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 2024 年 11 月 4 日 9 点 30 分（北京时间）（自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标 文件截止之日止，不得少于 20 日） 地点：上海市延安西路 358 号美丽园大厦 19 楼上海国际招标有限公司 1901 会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起 5 个工作日。 六、其他补充事宜 注：决定参与本项目投标的潜在投标人还须于投标截止期前完成在上海交通大学数字化采购 平台（https://pboffice.sjtu.edu.cn/）上的供应商注册及实名认证，请尽早办理，以免因资 料审核时间而影响项目进度。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：上海交通大学 地址：上海市东川路 800 号 联系方式：吴老师，021-54747300 技术联系人：程老师，021-34204373 2.采购代理机构信息 名 称：上海国际招标有限公司 地 址：中国上海延安西路 358 号美丽园大厦 14 楼 联系方式：张靖姝、唐臻善，86-21- 32173698、32173716，zhangjingshu@shabidding.com、tangzhenshan@shabidding .com 3.项目联系方式 项目联系人：张靖姝、唐臻善 电 话：86-21-32173698、32173716