采购项：普迪高真空有机薄膜沉积系统

品牌：武汉普迪真空科技有限公司

单项预算：28

成交单价：399000.00

成交供应商：武汉普迪真空科技有限公司

技术参数：PD-400S

数量：1

型号：真空指标：优于9.0×10-6Pa；漏率：优于5×10－8Pa*L/S（国家标准）；关机12小时后，真空度≤5Pa；（手套箱干燥氮气环境）抽气时间：大气压~5*10-4Pa小于15min；大气压~9*10-5Pa小于40min（手套箱干燥氮气环境） 自动化控制指标：西门子PLC+西门子触摸屏自动控制；可输入速率及终厚，PID调节自动控制蒸发电源输出。手动自动可以切换。配2组舟式蒸发源，金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构；配备蒸发电源1套，蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，具体二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制。 配备4套有机蒸发束源炉源炉圆周半径0.5到0.7cm，高2cm，约3ml，4套有机蒸发电源。有机蒸发源带温度显示功能。此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率。带数显。抽屉式结构，承载最大小于150*150样品，配气动基片大挡板。样品台可加热，加热温度0-300℃控温精度±1℃。基片与蒸发源距离可调，电机升降调节最大范围380～280mm可调。样品台旋转：样品片台可旋转，0～30转／分 连续可调。

成交总价：399000.00

质保及售后服务：按行业标准提供服务