公告摘要
项目编号cb106732022000012
预算金额32.95万元
招标公司云南大学
招标联系人-
中标联系人-
公告正文
云南大学-结果公告(CB106732022000012)
申购单号:CB106732022000012成交总额:329500.0
申购主题:光电器件制备与光学测试设备 送货时间:合同签订后60天内送达
采购单位:云南大学 安装要求:免费上门安装(含材料费)
竞价开始时间:2022-04-07 15:58:52 收货地址:
竞价截至时间:2022-04-12 16:03:17
币种:人民币
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:
质疑说明:如果对成交结果有异议,请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
竞价结果:
采购项:环境获得与测量系统 品牌: 不限 型号: 不限
成交总价:119000.00
成交供应商:沈阳奇汇真空技术有限公司
质保及售后服务: 按行业标准提供服务,质保2年。
技术参数: 一、系统功能: 本系统共有四部分组成,分别为环境获得系统,膜厚测量与控制系统,水冷系统和CDA系统组成。 二、系统主要技术参数 序号 项 目 说 明 1 环境获得系统 配有分子泵系统,抽速1200L/S。CF200接口,KF40接口。并配有相应的控制电源。配有相应的CF200插板阀。 2 膜厚测量与控制系统 配有4套6MHZ膜厚探头,水冷。并配有相应的4通道膜厚测量仪,四通道同时显示测量,精度0.1A,并配有四套大功率电源,其中两套采用进口PID控制方式。 3 水冷系统 独立的控温冷水循环系统,并带有分水器,压力检测报警。 4 CDA系统 独立的静音CDA系统, 三、系统主要配置 1.涡轮分子泵 一套 配置北京科仪KYKY-1200L分子泵一台。北京科仪KYKY-FF200/1200C。 2.分子泵电源 一套 北京科仪分子泵电源。控制分子泵的启停。 3.CF200气动挡板板阀 一套 CF200气动翻板阀,通径CF200。气动操作。 4.膜厚仪 一套 国产赛恩斯 TM-508-4 4通道产品,用于膜厚测量,镀膜速率的反馈控制。 5.国产膜厚探头 四套 水冷管膜厚探头,可以安装标准6MHZ晶振片。探头安装有特殊屏蔽罩。 6.冷水机 一套 带水箱自循环冷水机。实验室专用,低噪音,低结露。常温模式。 7.低温功率电源 二套 逆变式电源。单独输出,独立控制。配有日本导电表PID控温,控温精度±0.5℃。 8.高温功率电源 二套 隔离变压器电源原理。总功率1.5KW。5V/300A. 一带二输出方式。
竞价结果:
采购项:光电器件制备设备 品牌: 不限 型号: 不限
成交总价:188000.00
成交供应商:沈阳奇汇真空技术有限公司
质保及售后服务: 按行业标准提供服务,质保2年。
技术参数: 一、设备功能: 这是一套器件制备设备,它是在高真空条件下,通过加热材料的方法,在衬底上沉积各种金属、混合物单层或多层膜,制备各种半导体器件。主要用于金属和非金属材料的物理化学性能研究实验及金属材料的原理研究实验。本设备密封位置采用的是胶圈密封、金属密封或磁偶合密封技术,所用电极采用陶封技术,运动采用金属焊接波纹管结构。是一款经典型,智能的制备设备。 二、设备主要技术参数 序号 项 目 说 明 1 极限真空 优于4×10-5Pa(新设备) 2 漏 率 6.7×10-8Pa·L/S 3 工作真空 5×10-4Pa,从大气到工作真空时间小于25分钟(新设备冷态下,充干燥N2) 4 系统保压 系统抽到极限后,停泵关机12小时后,系统真空度保持状态≤2Pa。 5 样品尺寸 134×134mm.(可兼容100×100) 6 样品托尺寸 140×140mm.(可兼容116×106) 7 样品架与源表面距离 300mm 8 蒸发源 金属源×4套。有机源×4套。 9 样品架 电动旋转,水冷。 10 真空室开腔形式 手动前后大开门结构 11 掩膜版库 4位 三、设备详细配置 1. 蒸发室部分 蒸发室由蒸发台、样品架、挡板、观察窗等组成。 1.1蒸发室 一套 方形结构,内尺寸约400×420×550mm,内外表面喷丸处理,外表电解处理。内外开门结构,外门折页方式,内门隐藏式侧滑导轨方式。外门下方为DN90mm的胶圈石英观察窗,上方为DN190×100的胶圈观察窗。上下观察窗都安装有手动挡板。内门下方有一个DN90的胶圈密封观察窗,观察窗有手动挡板。真空室侧板开孔,安装分子泵系统。底板上安装蒸发电极。真空室顶部安装样品架。 1.2DN90观察窗 二套 尺寸为DN90mm。材质为石英玻璃。一套内门,一套外门。 1.3DN190×100观察窗 一套 尺寸为DN190×100。胶圈密封观察窗。 1.4手动观察窗挡板 三套 胶圈密封运动结构。手动开关。用于遮挡相应的观察窗。 1.5蒸发台 一套 蒸发台安装于真空室底部,(4金属4有机结构)蒸发台均布4套水冷电极和4套裸丝有机源,内部安装3cc高口石英坩埚。 1.6蒸发源电动挡板 8套 共安装8套电/气动旋转挡板,可以在电控柜上操作。一套共用。 1.7样品架与挡板 一套 样品架为电动旋转方式,转速0~30转/分连续可调。安装尺寸100×100mm精度高。一侧安装气动磁耦合对开大挡板。 [侧壁备有140×140的挡板接口] 1.8掩膜版库 一套 模板库4片/次,样品:134×134mm,手动更换掩膜板。模板通过磁力手动拨叉进入样品架下方。可以在其他不运动的情况下自由选配模板。掩膜板库升降采用电动形式。并带有后观察窗,可以方便操作。磁力拨叉用于样品在掩膜库与样品架间的手动传递。 1.9 工作台 一套 碳钢工作台,表面静电喷涂处理,两侧安装有围板。用于放置真空室。内部安装分子泵系统。和控制系统。 2.真空获得系统 2.1机械泵 一套 配置浙江飞跃8.3L机械泵一台。VRD-30 2.2电磁压差阀 一套 通径KF40,上海西玛特阀门产。安装在机械泵口,停泵时自动关闭。 2.3气动截止阀 一套 通径KF40,北京川北,安装在分子泵排气口,用于保护分子泵。 2.4前级阀门三通组件 一套 通径KF40,安装于分子泵与机械泵之间。 2.5液压波纹管路 三套 通径KF40,一路连接分子泵,一路连接机械泵,一路连接预抽角阀。 2.6CF35气动角阀 一套 CF35气动角阀,通径CF35。手动操作。 2.7手动放气阀 二套 通径10mm。用于真空室放气,手动操作。一套外门,一套内门。 3.电控系统 一套 3.1电器控制柜 一套 电控柜与工作台一体。上面安装着电控拉箱。由真空计、中央控制单元、膜厚仪、金属加热电源、有机蒸发电源、分子泵电源、总电源等部分组成 。 3.2PLC+触摸屏 一套 由韩国LG-PLC,北京昆仑通泰的10寸彩屏组成。并安装完毕控制软件。手动控制时要注意操作顺序。 控制内容:预抽,前级,机械泵,分子泵运行。 样品台旋转控制,按钮控制。 设备报警与急停。 3.3数显复合真空计 一套 真空计5214用于显示整个系统的真空度。 选用成都睿宝5214-B型。
竞价结果:
采购项:光功率测试系统 品牌: 索雷博 型号: 索雷博
成交总价:22500.00
成交供应商:沈阳奇汇真空技术有限公司
质保及售后服务: 按行业标准提供服务
技术参数: 系统配置要求: 1、Thorlabs S132C,Slim Photodiode Power Sensor, Ge, 700 - 1800 nm, 500 mW 2、Thorlabs FBSM,FiberBench Mount for Slim Photodiode Sensors 3、Thorlabs PM100D, Compact Power and Energy Meter Console, Digital 4" LCD 4、Thorlabs POWER CORD CHINA, PM100D:POWER CORD CHINA: No Cost Accessory 5、Thorlabs S120VC, Standard Photodiode Power Sensor, UV-Extended Si, 200 - 1100 nm, 50 mW

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