A02110204半导体器件参数测量仪 详见项目详情 342.000000 2023年01月 详见项目详情 9 重庆大学 电子束曝光系统（EBL） A032103电子工业专用生产设备 详见项目详情 2250.000000 2023年01月 详见项目详情 10 重庆大学 感应耦合等离子体刻蚀机（ICP） A032103电子工业专用生产设备 详见项目详情 370.000000 2023年01月 详见项目详情 11 重庆大学 金属刻蚀机（ICP） A032103电子工业专用生产设备 详见项目详情 390.000000 2023年01月 详见项目详情 12 重庆大学 高精度光电器件集成封装系统 A032103电子工业专用生产设备 详见项目详情 750.000000 2023年01月 详见项目详情 13 重庆大学 化学机械抛光机（CMP） A032103电子工业专用生产设备 详见项目详情 260.000000 2023年01月 详见项目详情