场发射透射电子显微镜设备采购项目需求公示

公告摘要

项目编号202000385288

预算金额1.00元

招标公司香港中文大学（深圳）

招标联系人-

招标代理机构深圳市政府采购中心

代理联系人-

标书截止时间-

投标截止时间-

公告正文

项目名称

场发射透射电子显微镜设备采购项目

是否预选项目

否

采购人名称

香港中文大学（深圳）

采购方式

公开招标

财政预算限额（元）

10,510,000.00

项目背景

因材料学科发展需要，计划采购场发射透射电子显微镜1套。

投标人资质要求

（1）具有独立法人资格或具有独立承担民事责任的能力的其它组织（提供营业执照或事业单位法人证等法人证明扫描件，原件备查）。
（2）本项目不接受联合体投标，接受投标人选用进口产品参与投标。
（3）参与本项目投标前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）。
（4）参与本项目政府采购活动时不存在被有关部门禁止参与政府采购活动且在有效期内的情况（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）；
（5）具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条第一款的条件（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）。
（6）未被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单（由供应商在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明）。
注：“信用中国”、“中国政府采购网”以及“深圳市政府采购监管网”为供应商信用信息的查询渠道，相关信息以中标通知书发出前的查询结果为准。
（7）若所投产品为进口，则投标人必须提供由设备制造商或授权的中国总代理签署的合法有效的保修、维修承诺函；若所投产品为国产产品，则无需提供。

货物清单

序号	采购计划编号	货物名称	数量	单位	备注	财政预算限额(元)
1	202000385288	场发射透射电子显微镜	1.0	套		1.051E7

具体技术要求

   1.电子枪
   ▲1.1电子枪类型：高亮度冷场发射电子枪
   ▲1.2能量分辨率：≤0.33eV（发射电流1μA以下时）
   ▲1.3小束斑下束流：≥2.5nA(束斑尺寸为0.7nmφ时)
   2.分辨率
   ▲2.1点分辨率：≤0.23nm
   2.2线分辨率：≤0.10nm
   2.3 STEM DF分辨率：≤0.16nm
   2.4信息分辨率：≤0.11nm
   2.5 束斑漂移：≦1nm/min
   ▲2.6背散射电子分辨率：≤1.0nm
   3.加速电压
   3.1最高200kV，最低至少20kV，加速电压全程范围内切换仅需通过软件控制完成，步长50V，提供200KV、80KV合轴数据。
   4.稳定度
   4.1加速电压稳定性：≤1 ppm/min（峰峰值）
   4.2物镜电流稳定性：≤1 ppm/min（峰峰值）
   5.TEM模式下放大倍数
   5.1 20- 2,000,000×
   6.物镜系统
   6.1球差系数：≤1.0mm
   6.2最小聚焦步长：≤1.4nm
   6.3焦距：≤2.3nm
   7.聚光系统
   7.1球差系数：≤1.0mm
   7.2焦距：≤2.3nm
   7.3采用四级聚光镜系统，可以实现会聚角度和亮度的单独控制
   8.束斑尺寸
   8.1 TEM模式：1nm到20nm
   8.2 会聚束模式：0.5nm到20nm
   8.3 会聚束电子束衍射接受角：±10°
   9.样品台
   9.1 样品更换：自动装样品装置，只需点击按钮即可实现样品杆的全自动插入或者退出，退出时样品台坐标自动清零，减少误操作；手动更换方式同时并存
   9.2 样品台驱动方式：五轴马达驱动(X/Y/Z/倾斜X/倾斜Y )
   9.3 样品移动范围：2mm(X, Y); 0.4mm(Z)
   9.4 样品倾斜角度：±35°(X) / ±30°(Y)（标准双倾样品杆时）
   10. 扫描透射附件(STEM) 技术规格
   10.1 HAADF分辨率：0.16nm
   10.2 STEM模式放大倍率：×200 - 150,000,000
   ▲10.3 TEM、BEI、 STEM模式通过软件简单点击即可快速切换，无需稳定时间，保证BEI图像、BF、DF图像采集的无缝式切换。
   10.4 STEM包含BF像、ABF像，暗场DF像、HAADF像。
   11. X射线能谱分析仪技术规格
   ▲11.1 探测器类型：双探测器200mm2探测器面积，无窗型
   11.2 能量分辨率： 133eV
   11.3 元素分析范围：4B至92U
   ▲11.4 EDS立体角： 1.7sr
   12.数字化CMOS相机技术规格
   ▲12.1 分辨率：4k x 4k，单像素尺寸15μm
   12.2 耦合方式：1:1光纤耦合
   12.3 读写速率：最快达到25fps @4k×4k像素或更高
   12.4 Low dose低剂量观测：有，减少电子束对样品的辐射损伤
   12.5 动态范围：16位
   12.6 具备实时漂移校准功能
   12.7 基本操作软件：DigitalMicrograph软件可实现数据的采集、分析、处理等
   12.8 图像存储模式：dm 图像存储格式，并可与.tiff格式、.jpg格式、.emf格式、.bmp格式、.gif格式等自由转换
   13.真空系统
   13.1 四级真空系统，可实现快速抽真空。
   13.2 典型换样时间：≤60秒
   13.3 电子枪真空度≤10-8Pa
   13.4 样品室真空度≤2x10-5Pa
   13.5 标配液氮冷阱，单次添加液氮持续使用时间可达23小时
   14. 离子清洗仪
   14.1 等离子源：空气
   14.2 进样方式：直接插入透射电镜样品杆
   14.3 时间可调节
   15 三维重构系统
   15.1 硬件包含高倾角样品杆一套，以及高性能计算机一套，以及完整软件一套。
   15.2 倾转角度≥±80°
   15.3 倾角最小步长≤0.1°
   15.4 具备自动采集数据和重构功能，并在采集过程中可以进行样品自动漂移校正。
   15.5 包含TEM/STEM/EDS模式
   16 背散射电子探测器
   16.1 在得到STEM-BF/STEM-DF像的同时能得到SEI/BEI图像，使得对材料样品的信息探测更加全面。
   16.2 分辨率：1nm@200kV。
   17.软件操作
   17.1 全数字化操作系统，基于Windows计算机控制系统。
   17.2 具有专用的NaviTM软件，内附演示视频和操作说明，即使初学者在学习后很容易完成学会电镜的操作。
   17.3 操作可以实现自动化和程序化，抽真空后，可自动实现亮度对比度、自动调节样品Z方向位置、自动聚焦、自动象散矫正等的调节，搜寻观察区域然后完成图像观察和记录。
   18.超薄切片机技术规格
   18.1光学系统与机械运动部分放大倍数： 6.1-55×
   18.2 刀架：360°旋转，分隔±30°
   18.3独立控制的照明系统
   18.4切片速度控制范围：0.05－100mm/s
   18.5样品厚度控制：1nm – 15µm
   18.6切片原理(传动系统)：重力切片
   18.7速度及前进范围等参数可存储量：500组（每用户5组）
   18.8高级触摸屏内置计数器，可进行切片数计数，切片行程计数，切片数倒计数，切片行程倒计数，带自动修块模式，手动修块模式
   18.9控制面板：10.4”彩色触摸屏
   18.10配置包含切片机主机1套、M80体视镜套装1套、彩色触摸控制屏1套、锁样工具2套、通用型样品夹1套、平扁样品夹1套、钻石刀（超薄、45度、宽3.0毫米）1把、钻石刀（超薄,30度,宽3.0毫米）1把、修块钻石刀1把、钻石刀清洁泡沫条5条、完美捞片圈1套
   19.整机UPS系统
   19.1 主机用UPS, 10KVA ，输入电压：220VAC，输出电压：220±1%VAC，1小时续电）
   19.2 冷却循环水用UPS（10KVA，输入电压：380±25%VAC，输出电压：三相380VAC，1小时续电）
   20.产品配置要求
   20.1 冷场发射透射电镜配置要求
   20.1.1 冷场发射透射电子显微镜基本单元完整1套
   20.1.2 电镜正常工作所需的稳压电源、循环冷却水、变压器、绝缘气体等完整1套
   20.1.3 电子枪用UPS不间断电源（续电不低于180小时）1个
   20.1.4 增强型单倾样品杆1个
   20.1.5 增强型双倾Be样品杆1个
   20.1.6 四样品杆1个
   20.1.7 透射电镜长期使用所需要的备品备件、专用工具完整1套
   20.2 扫描透射附件满足项目10规格完整1套
   20.3 能谱分析仪满足项目11规格完整1套
   20.4 CMOS相机满足项目12规格完整1套
   20.5离子清洗仪满足项目14规格完整1套
   20.6 三维重构系统满足项目15规格完整1套
   20.7背散射电子探测器满足项目16规格完整1套
   20.8 超薄切片机满足项目19规格完整1套
   20.9整机UPS系统满足项目20规格完整1套

商务需求

序号目录招标商务需求
（一）免费保修期内售后服务要求
1 维修响应及故障解决时间在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换。
2 关于免费保修期 ★设备主机免费保修期 3 年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。
（二）免费保修期外售后服务要求（可选）
1 维修响应及故障解决时间在保修期外，一旦发生设备故障，投标人保证在接到通知24小时内提供故障解决方案。
2 关于零配件优惠率在保修期外发生故障维修状况，投标人保证给予零配件及人员工时费折扣率不高于8折。
（三）其他商务要求
1 关于交货 1.1交货地点：香港中文大学（深圳）
1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。
1.3签订合同后 240 天（日历日）内交货。
2 关于验收 2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。
2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：
a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。
b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。
c、货物具备产品合格证。
3 关于违约 3.1中标人不能交货的，需偿付不能交货部分货款的 10 %的违约金并按主管部门相关规定处理。
3.2中标人逾期交货的，将被没收履约保证金并按主管部门相关规定处理。
3.3中标人所交付产品、工程或服务不符合其投标承诺的，或在投标阶段为了中标而盲目虚假承诺、低价恶性竞争，在履约阶段则通过偷工减料、以次充好而获取利润的，将被没收履约保证金，并被深圳市政府采购中心评为履约等级“差”并按主管部门相关规定处理。
4 关于付款签订合同后支付预付款30%，设备到货后支付进度款50%，安装调试，试运行正常后，经大学正式验收合格，收到发票后支付验收款20%

技术规格偏离表

详见附件

商务规格偏离表

详见附件

评标信息

序号	评分项				权重
1	价格				30
2	技术部分				48
	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
	1	技术规格偏离情况	48	专家打分	投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得100分，非▲为一般参数，每项负偏离扣1分，扣完为止。带▲为重要参数，每项负偏离扣2分，扣完为止。
3	商务需求				8
	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
	1	免费保修期内售后服务条款偏离情况	3	专家评分	投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣50分。
	2	免费保修期外售后服务条款偏离情况	3	专家评分	投标人应如实填写《免费保修期外售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣50分。
	3	其他商务条款偏离情况	2	专家评分	投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣15分，扣完为止。
4	疫情防控				5
	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
	1	疫情防控重点保障企业	3	专家评分	纳入全国性名单或地方性名单的疫情防控重点保障企业（以下简称“重点保障企业”），直接参与我市政府采购投标的，提供至少一项自身属于重点保障企业的证明材料（名单查询网页链接、名单网页截图、政府部门出具的文件或者企业享受重点保障企业优惠政策的其他证明文件均可），即可获得评审得分。
	2	稳岗企业	2	专家评分	未裁员或裁员率低于20%的企业，即投标前一个月实际参加社会保险（至少包括养老保险）的员工人数（含免缴或延期缴纳社会保险人数）不低于 2019 年 12 月同口径人数 80%（含）的企业，视为稳岗企业，提供自身符合稳岗企业条件的承诺函即可获得评审得分。投标人提供虚假承诺的，将做无效投标处理，涉嫌存在违法违规行为的，依法报主管部门处理处罚。
5	诚信情况					7
	序号	评分因素	权重	评分方式		评分准则
	1	诚信	5	专家评分		根据《深圳市财政委员会关于印发〈深圳市政府采购供应商诚信管理暂行办法操作细则〉的通知》（深财购[2017]42号）的要求，投标人在参与政府采购活动中存在诚信相关问题且在主管部门相关处理措施实施期限内的，本项不得分，否则得满分。投标人无需提供任何证明材料，由工作人员向评审委员会提供相关信息。
	2	履约	2	专家打分		近三年（以投标截止日期为准）在市政府采购中心有履约评价为差的记录，本项不得分，否则得满分。投标人无需提供任何证明材料，由采购中心工作人员向评委会提供相关信息。
6	综合实力					2
	1	投标人近三年同类业绩（以合同时间为准，截止日为本项目公告发布之日）	2	专家打分		提供3个同类业绩即得满分，提供2个得60分，提供1个得30分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。