项目名称：干法等离子体刻蚀机用工艺排气处理装置
项目编号：0613-224022210164/05
招标范围：干法等离子体刻蚀机用工艺排气处理装置
招标机构：上海机电设备招标有限公司
招标人：华虹半导体（无锡）有限公司
开标时间：2022-02-22 09:30
公示时间：2022-03-14 16:46 - 2022-03-17 23:59
中标结果公告时间：2022-03-21 23:08
中标人：上海昭和电子化学材料有限公司
制造商：上海昭和电子化学材料有限公司
制造商国家或地区：中国

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