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高精度三维形貌测试仪（原装进口）

ZYGO

型号：Zegage Pro HR

非接触式白光扫描干涉仪，可以进行精密、快速、3D表面测量。可以用于微小光学元件表面面形、表面粗糙度、和台阶高度及曲率半径的校准和检测。

一、主要性能指标：

1、测量原理：非接触、三维、白光相干扫描干涉技术

2、光源：采用单一长寿命,大功率LED光源,不需要切换光源。

3、计算机光强控制；

4、纵向扫描范围：最大到20mm；

5、具有专利抗震技术，不使用抗震平台也能进行高精度测试；

6、相机分辨率：1600×1200；

7、垂直扫描速度： 扫描速度可以根据测试需求调节，扫描速度最大可达170um/s；

8、表面形貌重复性（按照ISO25178定义）不低于0.15nm；

9、RMS重复性不低于0.01 nm；

10、台阶测量重复性优于 0.3% @ 1σ；

11、台阶测量精度优于3%，提供测试报告，要求用NIST可溯源的台阶标块测试，标块台阶高度在1-2um之间，且列为验收指标；

12、功能要求，具有主动防撞功能；

13、功能要求，自动找条纹功能，自动软件设置；

14、防震：要求软件具有主动消除震动的算法；

二、系统配置要求：

1、物镜2个：2.75倍；10倍；

2、标块，台阶标快1.75um（NIST可溯源）；

3、精密聚焦：自动聚焦及辅助聚焦；

4、Z轴驱动：直流无刷微步进电机驱动，100mm行程，0.1μm精度；

5、样品台X，Y，Z，tip/tilt五轴调节，X,Y,Z三轴电控，俯仰倾斜手动，X,Y轴电控平移范围不小于100mm；

三、工作条件

1、温度 15-30℃

2、温度变化率 ＜1.0°C/15 分钟

3、湿度 相对湿度5%-95%，无凝结

4、输入电压 100-240VAC, 50/60 Hz

四、质量保证和售后服务：

保修期一年，在此期间，卖方免费提供维修和部件更换(人为损坏除外)。投标方应提供及时的维修服务，在接到用户故障信息后一至两个工作日内响应，三个工作日内提出解决方案，如有必要，到用户现场处理。如遇特殊情况由双方友好协商解决。

在保修期外，投标方应长期优惠提供仪器的维修配件，应以优惠价格继续提供及时的有偿服务和必要的技术支持。

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820，000.00

声发射刀具磨损测试系统（原装进口）

KISTLER

型号：8152C

本系统主要用于切削加工过程中刀具磨损状态监测，主要由高频声发射传感器、声发射信号调理仪以及高速数据采集系统等组成。

一、高频声发射传感器

1、数量：3只；

2、测量范围：50kHz-400kHz；

3、灵敏度：57dB;

4、防护等级IP65;

5、工作温度55～165°C;

6、固装3米铠装电缆；

7、包含振动钻削配套安装磁座3件。

二、声发射信号调理仪

1、数量：3台；

2、与地绝缘阻抗：≥1MΩ；

3、动态测量范围＞100dB；

4、放大器增益倍数：1、10、100可调；

5、输出信号类型：±5Vmax原始电压信号，0～10VDC RMS信号以及4～20mA电流信号;

6、振动钻削信号调理偏置电压＜20mV；

7、配套信号调理仪供电信号线缆三根。

三、高速数据采集系统

1、数量：一套；

2、通道数：8

3、电压或 IEPE：6mA；

4、电压输入量程：± 50mV～±50V；

5、采样率≥5MS/s/通道；

6、分辨率16位；

7、测量精度≤0.03%；

8、在板缓存32MS/Ch；

9、BNC接头，内置200G SSD（连续采集存盘），

10、包含高速数据采集分析软件。

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470，000.00