高真空磁控溅射镀膜机

招标

高真空磁控溅射镀膜机

质量流量控制器调试复合分子泵射频溅射电源真空室数显复合真空计磁控溅射靶水冷却循环系统智能数显水冷机插板阀照明系统高真空磁控溅射镀膜机样品台低噪音机械泵 PLC+10寸触屏控制系统

金额

19.9万元

项目地址

广东省

发布时间

2024/11/15

公告摘要

项目编号-

预算金额19.9万元

招标公司-

招标联系人-

标书截止时间-

投标截止时间-

公告正文

基本信息：

采购明细：

序号	采购内容	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

高真空磁控溅射镀膜机

1.0/None

199000.0

智诚

ZC-2B

1、溅射室极限真空度：≤5.0x10-5Pa(经烘烤除气后) 2、系统真空检漏漏率：≤5.0x10-8Pa.l/S 3、系统从大气开始抽气：腔室30分钟可达到8.0x10-4Pa(空载）氮气 4、系统停泵关机12小时后真空度：≤8Pa 5、样品台：最大装载样品3英寸，也可在3英寸范围内分割成若干个小样片 7、基片公转由调速电机驱动，0-35转/分，连续可调 8、磁控溅射靶要求溅射靶角度可调，永磁间接水冷式，支持直流、射频电源溅射；靶角度、高度可调，靶基距调整范围60-110mm，从腔室两侧进入满足立体样品6个面镀膜 9、真空室为方形腔体1套，前后开门结构，腔体尺寸：约Φ510(mm)×L500×500（mm），真空腔能和1200+双小腔手套箱配合使用 10、样品可旋转：电动旋转，转速：0-35rpm，转速在线可调。可升降：电动升降，升降范围：±25mm 11、低噪音机械泵：8L/S 12、复合分子泵：620L/S 13、插板阀（电动）：CF-150 14、数显复合真空计（一低一高）; 15、磁控溅射靶尺寸：3英寸2只 16、射频溅射电源：500W2台 17、质量流量控制器：2只（氩气和氢气） 18、照明系统：1套。 19、水冷却循环系统：1 台 20、智能数显水冷机：1 台制冷量：2.85KW（1P） 21、PLC+10寸触屏控制系统：1套

现场安装、调试、用户培训保修期一年