项目名称：高真空电子束复合热蒸发镀膜机

项目编号：GY202205155

公告开始日期：2022-10-13

公告截止日期：2022-10-18

采购单位：信息科学与工程学院

付款方式：100%预付

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签约时间要求：成交后90个工作日内

到货时间要求：签订合同后90个工作日内

预算总价：490000元

收货地址：山东大学青岛校区N5楼

供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品：高真空电子束复合热蒸发镀膜机

采购数量：1

计量单位：台

所属分类：机电设备

预算单价：490000.0

技术参数及配置要求：主要技术参数：1) 真空腔室：Φ550×H630mm； 2) ★真空极限：优于 3.0×10-5Pa； 3) ★抽速：分子泵完全启动，抽至 5.0×10 4) 基片台：标配平板抽屉式基片台，尺寸： 可装卡各规格的基片；基片台加热：室温～ 5) 蒸发源及电源：e 型电子枪一台，枪功率 2 组蒸发源，可蒸镀金属材料和有机材料； 6) 膜厚监控：采用薄膜沉积控制仪在线监 7) 离子源辅助沉积：采用考夫曼离子源清洗基片及辅助镀膜； 8) 控制方式：PLC 手自动控制，触摸屏操作； 技术指标： 1、真空腔室：SUS304 不锈钢，Φ550×H630mm，双层水冷，立式前开门结构； 真空室内表面及防污板抛光至镜面； 2、真空系统：复合分子泵（抽速：1600 L/s）+直联旋片泵（抽速 14 L/s）； “两低一高”数显复合真空计（测量范围：1×105 Pa～1×10-5Pa）； 3、真空极限：优于 3.0×10-5Pa； 4、抽速：抽至 5.0×10-4Pa≤30min（分子泵完全启动）； 5、基片台：标配：平板式基片台 抽屉式结构，基片托尺寸：150×150mm，该范围内可装卡各种规格的基片； 样品台配有挡板，磁流体密封； 样品台旋转：旋转速度 0-25 转/分连续可调，磁流体密封，光控定位，设定在前门中 心位置方便取样； 基片台加热：采用真空专用加热器，PID 智能温控表，室温～300℃； 6、电子束蒸发源及电源：e 型电子枪一支，枪功率 8KW；束偏转角 270 度； 配置一套偏转扫描电源，一套电子枪灯丝电源； 7、热蒸发源及电源：2 组蒸发源，兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计，源间有隔板，源上有挡板； 1 台 2KW 蒸发电源，可采用恒流/恒功率控制，可以预设工作电流； 8、离子源：采用考夫曼离子源清洗基片及辅助镀膜； 9、速率和膜厚控制系统：采用 Inficon 薄膜沉积控制器在线监测、控制蒸镀速率和膜厚，1 只水冷探头； 膜厚仪速率显示分辨率±0.015ā/s，厚度显示分辨率±0.015kā； 10、控制方式：PLC+触摸屏手自一体控制； 报警及保护：对分子泵、膜厚仪探头、蒸发电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执 行相应保护措施； 完善的程序互锁、完备的防误操作设计及保护；

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