招标
微纳电子器件制备光刻系统（AHU-XNJJ20210505）采购公告
金额
39万元
项目地址
安徽省
发布时间
2021/11/23
公告摘要
公告正文
微纳电子器件制备光刻系统（AHU-XNJJ20210505）采购公告
| 项目名称 | 微纳电子器件制备光刻系统 | 项目编号 | AHU-XNJJ20210505 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2021-11-23 | 公告截止日期 | 2021-11-25 |
| 采购单位 | 安徽大学 | 付款方式 | 货到验收付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 预算 | 390000.0 | ||
| 收货地址 | 安徽省合肥市蜀山区九龙路111号安徽大学协同创新D楼 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| LED紫外曝光机 | 1 | 套 |
| 品牌 | |
|---|---|
| 型号 | |
| 技术参数及配置要求 | 一、技术参数： 1．曝光类型：单面曝光； 2．曝光面积：110×110mm； 3．曝光照度不均匀性：≤3%； 4．曝光强度：≥40mw/cm2可调； 5．紫外光束角：≤2？； 6．紫外光中心波长：365nm： 7．紫外光源寿命：≥2万小时； 8．曝光分辨率：1μm； 9．曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光； 10．显微镜扫描范围： Y：±30mm； 11．对准范围：X、Y±5mm（移动精度0.5um），Q±5°（移动精度0.001°） 12．对准精度：正面1μm； 13．分离量；0～999μm可调； 14．接触－分离漂移：≤1μm； 15．曝光方式：硬接触、软接触和接近式曝光； 16．找平方式：三点式自动找平； 17．显微系统：视场CCD系统，显微镜45X～300X连续变倍（物镜1.1X～7.5X 连续变倍），双物镜距离可调范围11mm～100mm，计算机图像处理对位软件，19″液晶监视器； 18．掩模版尺寸：3″×3″、4″×4″、5″×5″； 19．基片尺寸：φ2″、φ3″、φ4″； 20．基片厚度：0.1～6mm； 21．曝光定时：0～999.9秒可调； 22．对准方式：千分尺手动XYQ对位平台 23．曝光头转位：电动； 24. 电源：单相AC220V 50HZ ，功耗≤1KW； 25．洁净空气压力：≥0.4MPa； 26．真空度：-0.07MPa~-0.09MPa； 27．尺寸： 920mm（长）×680mm（宽）×1600mm（高）； 28．重量：约180Kg。 二、报价要求： LED紫外曝光机推荐品牌型号为上海承清电子科技有限公司（型号：CQ21-13） 或者陕西思的信息资讯有限公司（型号：JZFUV-9100）以及苏州美图半导体技术有限公司（型号MT-5302），供应商从3个推荐品牌型号上海承清电子科技有限公司（型号：CQ21-13） 或者陕西思的信息资讯有限公司（型号：JZFUV-9100）以及苏州美图半导体技术有限公司（型号MT-5302）中选择1个进行报价，报价时注明所报品牌和型号。否则报价无效。 三、质保要求： 质保一年，质保期内免费上门服务。 四、供货时间： 2021年12月10日前完成送货安装调试工作。 五、质疑与答复： 供应商如对该项目采购需求和技术参数有质疑，须按《安徽大学非政府采购项目质疑和投诉管理暂行办法》有关规定和质疑函格式要求（请自行在安徽大学采购与招标信息网站查询下载），在网上竞价截标前提交书面质疑函，书面质疑函扫描件发至邮箱：441924448@qq.com 。安徽大学国有资产与实验室管理处（采购管理中心）联系电话：63861033，联系人：袁老师。逾期不予受理。 六、特别提醒： 1.供应商须符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件，如分公司投标须有总公司授权并将授权书上传竞价网，否则报价无效。 2.根据政府采购法律法规，单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一项目的采购活动。如有上述情况供应商参与同一竞价项目，学校将有权视情节轻重禁止其自处罚之日起1-3年内参加学校各类非政府采购活动并同期从安徽大学供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。 3.供应商如有以下任一行为，除承担违约责任外，学校有权视违规情节轻重禁止其自处罚之日起 1-3 年内参加学校各类非政府采购项目资格并同期从安徽大学供应商库中剔除，处罚期满后方可重新申请入库。 （1）提供虚假材料谋取中标（成交）或虚假供货的； （2）中标（成交）后无正当理由拖延或弃标、无正当理由拖延或拒不签订采购合同的； （3）不按竞价要求或合同约定履约的； （4）其他违反法律法规和采购规定的。 |
| 售后服务 | 公司中标后送货上门，负责安装调试；本台设备要求供应商具有本地化服务能力，本地化服务的能力是指具有以下条件之一：1）在本地注册成立的；2）在本地具有分支机构（含分公司、办事处、售后服务机构等），具有固定的办公场所及人员。备注：“本地”系指：合肥市; |
公告来源：
https://www.yuncaitong.cn/publish/2021/11/23/20KWC0WL0USK9JMB.shtml
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