天津大学 - 竞价公告 (CB100562023000277)
发布时间：2023-05-31 10:05:36 截止时间：2023-06-02 09:00:00
基本信息：
申购主题：磁控溅射镀膜仪
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** (元)

收货地址：天津市/市辖区/南开区/****
备注说明：
采购明细：

序号	采购内容	数量	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

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磁控溅射镀膜仪

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ATK-400

ATK-400

关键技术指标：（1）外形具有304不锈钢方形前开门真空室腔体1套（内部尺寸400*450mm）；（2）顶部具有2英寸磁控靶接口3套（并预留2个靶腔升级口）；（3）磁控靶射频电源（500W）和直流电源（500W）各一台；（4）三寸可旋转样加热品台，加热区间为室温到800度；（5）真空度优于8*10^-5Pa，大气至6*10^-4Pa时间小于40分钟；（6）200ml/s质量流量控制器2套，真空泵组1组，包含650L/S水冷脂润滑分子泵1台和8L/S旋片泵1台。

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）