比选废止理由：用户调整采购技术参数需求
采购项目名称：激光尺系统
采购项目编号：清设比选20231591号
公告开始时间：2023-12-07 10:01:32
采购单位：清华大学
公告废止时间：2023-12-07 10:01:32
物资名称：激光尺系统
采购数量：1
计量单位：台
技术参数及配置要求：1、需包含激光源、双轴差分干涉仪、USB接口、差分头光路调整辅助工具等；
2、激光稳频精度（8小时）：<±50 ppb；
3、激光稳定输出功率：<300μW/轴；
4、激光真空波长稳定性（超过三年）：≤±0.1ppm；
5、干涉仪轴行程：测量臂覆盖0-1m，参考臂覆盖0-0.5m；
6、干涉仪最大速度：可达1m/s；
7、干涉仪分辨率：模拟正交时≤158nm，数字正交时≤10nm；
8、干涉仪系统非线性误差(SDE)：低于50 mm/s且信号强度> 70%时 <±1 nm；1 m/s且信号强度 > 50%时 <±6 nm；
9、干涉仪热漂移系数：<50nm/℃；
10、干涉仪光束对准调整：±1º pitch / ±1º yaw；
11、干涉仪光束对准公差：平面反射镜（1米轴）时≤±25弧秒；
12、系统除能提供反馈信号外，还能通过USB接口实现分辨率达到10皮米的位移测量;
13、系统硬件能够与市场上常见的CARTO或QuickViewXL软件配合使用。
质保期：12个月详情请访问原网页！