西南大学 - 竞价公告 (CM106352024000211)
发布时间：2024-12-23 19:29:17 截止时间：2024-12-26 19:38:58
基本信息：
申购主题：紫外光刻机
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：发布竞价结果后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：500000 人民币

收货地址：重庆市/市辖区/北碚区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号	采购内容	数量	预算单价	可选品牌型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

紫外光刻机

1 (套)

500000 (人民币)

中国科学院光电技术研究所/URE-2000/34DZL 江苏雷博微电子设备有限公司/MS6-CD 成都飞诚光电技术有限公司/FC-350S

1. 1．技术参数 ★曝光面积：160mm×160mm； 曝光波长：365nm；分辨力：≤0.8um； 对准精度：±1 um； 对准系统扫描台运动范围至少满足： Y:10mm； ★双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍，物镜三对：4倍、10倍、20倍，目镜三对：10倍、16倍、20倍； 掩模尺寸2.5英寸，3英寸，4英寸，5英寸 ，7英寸（其他尺寸可定制）；样片尺寸：碎片，2英寸， 3英寸，4英寸，6英寸（其他尺寸可定制）； 适应样品厚度：0.5-3mm，最大可支持20mm的样片（定制）； 曝光方式：定时（倒计时方式）； 照明不均匀性：＜2.5%； 掩模相对于样片运动行程至少满足：X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6º； ★曝光能量密度：>30mW/cm2 ★对准位和曝光位双工位工作，双工位伺服电机自动切换； 调平接触压力通过传感器保证重复性； 可数字设定对准间隙和曝光间隙，0-500数值化可调； 具备纳米压印接口，也具备接近式接口； ★配备专用显微镜：齐焦距离国际标准45mm，可放置不低于4孔位滤色块；预留激光引入接口，方便引入激光，搭配高灵敏成像系统，像素不低于2000w像素，可进行多倍率实时记录，预留实时同步触发扩展空间，后期可直接升级，通过触发做多设备联动。 2．配置 1 曝光头系统 ● 进口紫外LED光源 ● LED光源整形模块 ● XYZ光源位置调节台 ● 冷却风扇 ● 光学系统：（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组、场镜组、反射镜组） 2 对准工件台  工位切换台（电机）； 掩模样片整体运动台； 掩模样片相对运动台； 转动台； 样片调平机构，三点自动完成； 样片调焦机构，电机自动调； 基片抽拉式上下机构； 掩模尺寸2.5寸，3寸，4寸，5寸,7寸；样片尺寸：碎片，2寸， 3寸，4寸，6寸 3 对准系统  光源、 电源 CCD对准系统，22寸液晶显示器 左右光管可单独X Y Z向运动台； 倒置荧光显微镜 1． 主要技术参数 1倒置显微镜 *1.1光学系统：无限远校正光学系统，齐焦距离必须为国际标准45mm。 1.2调焦：使用粗/微调焦旋钮控制物镜转盘垂直移动（载物台高度固定）。 粗调行程每一圈为≥36.8mm，微调行程每一圈为≤0.2mm。 *1.3主机：自带三目观察镜筒（FN≥22），标准相机接口 1.4照明装置：标配高性能LED光源（≥20000小时） 1.5物镜：全部相差物镜4X，10X，20X，40X 预对中相差物镜4X（N.A.≥0.13；W.D.≥17） 预对中相差物镜10X（N.A.≥0.25；W.D.≥8.8） 预对中长工作距离相差物镜20X（N.A.≥0.4；W.D.≥3.2） 预对中长工作距离相差物镜40X（N.A.≥0.55；W.D.≥2.2） 1.6载物台：备有右手用低位置同轴X、Y向传动旋钮。载物台行程： X≥130mm，Y≥74mm。 1.7目镜：10X，视场直径为≥22 1.8备有可拆装的超长工作距离聚光镜：N.A.≥0.3，W.D.≥72mm *1.9相差系统：预对中相差环板,所以物镜共用一个相差环。 *1.10荧光照明装置四孔位抽拉式荧光照明器，直接耦合机身，包含DAPI、 GFP、RFP三色荧光及单独明场孔位; *1.11 宽光谱LED光源，直接与显微镜耦合，即开即关无需等待，亮度0—100%连续可调，寿命大于20000小时。 2显微数码相机 *2.1最大像素：2000万 2.2芯片大小：≥1英寸 2.3像素大小：2.40μm×2.40μm 2.4芯片类型：前照式芯片 2.5像素融合：支持2x2 2.6帧率：最大值≥60fps 2.7制冷系统：被动制冷 2.8附带软件 2.9数据传输：USB3.0 2.10自动白平衡：支持 2.11相机接口：标准C接口 2.12光谱响应范围 380-650nm 本项目报价为包干价格，签订合同后30日内供货，质保年限最低为1年，学校进行数量验收，达到要求后供货方支付25%履约保证金，需方支付100%合同金额，待验收完成后支付20%履约保证金，余下5%为质保金，1年后无遗留问题支付。需方不组织统一现场踏勘，请各供应商自行前往现场踏勘并充分了解项目情况、运输道路、安装空间及环境、装卸限制及任何其它足以影响报价的情况，任何因忽视或误解项目情况而导致的索赔或交货期延长申请将不获批准。无论供应商是否踏勘过现场，均被认为在递交投标文件之前已经踏勘现场，对本合同项目的风险和义务已经十分了解，并在其投标文件中已充分考虑了现场和环境条件。供应商需自行负责在踏勘现场中所发生的人员伤亡和财产损失，现场踏勘所发生的费用由供应商承担。

按行业标准提供服务

URE-2000 34DZL技术参数-12.2.pdf