中标
蒸镀手套箱
金额
15.3万元
项目地址
-
发布时间
2022/05/18
公告摘要
公告正文
蒸镀手套箱
| 申购单主题： | 蒸镀手套箱 | 申购单位： | 电子与信息工程学院（微电子学院） | 是否含税： | 否 | 使用币种： | 中山大学 |
| 申购备注： | |||||||
| 设备名称 | 品牌厂商 | 型号 | 是否标配 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
| 蒸镀手套箱 | 米开罗那 | Universal（2700/750/900） | 是 | 1 | 国内含税价/人民币 | |||
| 规格 | ★1、可得气体纯度：水<1ppm，氧<1ppm 2、手套箱尺寸：蒸镀手套箱（五支手）操作，内部尺寸：长×宽×高≥2700×750×900mm，304不锈钢材质。箱体底部配有支架，旋转脚轮，配有用于压力调节的脚踏板。左侧单工位箱体背后预留镀膜机接口，右侧箱体底部预留石英窗口。 ▲3、右侧集成大小过度舱 4、手套口铝合金。 5、循环能力：集成风机流量≥90m3/h，加装变频控制。 ▲6、真空泵：可手动或通过PLC启动，流量12m3/h，可对过渡舱抽真空，并保持箱体压力平衡，真空泵真空度可达2×10-1pa，真空泵配装油雾过滤器和气镇。 7、单柱净化系统，净化材料可再生，且再生过程自动控制，自动除水除氧功能。 ★8、气体控制阀：采用不锈钢材质的电磁集成阀座，六个阀集成控制。 ★9、检测系统：水分析仪：测量范围：0～500ppm，水探头采用P2O5传感器，可以通过清洗再生程序恢复初始状态。氧分析仪：检测范围：0-1000ppm，采用ZrO2传感器，不得采用燃料电池。 10、设备除手套、净化材料及活性炭等耗材外，整机均质保叁年（包括进口配件） ★11、箱体前窗采用O型密封圈真空密封法兰视窗，不得采用空心密封圈进行密封。 12、赠送一副备用手套 数量：壹台 | |||||||
| 中标供应商 | 是否满足 | 单价 | 初选理由 | |||||
| 上海米开罗那机电技术有限公司 | 是 | 153000 | 4 | |||||
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