氧化镓Mist-CVD外延炉(GY202306256)自购结果公示
发布时间：2023-10-30
该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商：	山东晶升电子科技有限公司
中标金额：	148000

公示开始日期	2023-10-30	公示截止日期	2023-10-31 16:24:50
采购单位	晶体材料研究所	付款方式	货到验收合格后付款
签约时间要求		到货时间要求
收货地址	山东大学新一代半导体材料研究院

采购清单1

采购物品	采购数量	计量单位
氧化镓Mist-CVD外延炉	1	台

品牌	山东晶升	规格型号	CVD-110
技术参数	1.温度覆盖范围：100~1070℃，精度±1C 2.石英外管内径：112mm,外径120mm,长度800mm 3.超声雾化装置为频率1.7-2.4Mhz可调节 4.气体流量：O2：1000sccm, Ar:5000sccm 5.衬底托：石英材质，24英寸 6.衬底托旋转转速：10转/min60转/min 7.流量控制：按质量流量计满量程精度±1% 8源瓶：不锈钢材质
售后服务	服务网点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后2小时;

资产与实验室管理部
2023-10-30