上海大学2023年09月政府采购意向 为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将上海大学2023年9月采购意向公开如下：序号采购项目名称采购需求概况预算金额（元）预计采购时间（填写到月）备注1双工位手套箱超高真空PVD集成镀膜系统2年质保，供货期5个月。蒸镀速度精度：0.01Angstrom/s；膜厚精度：0.001kAngstrom；8”基片膜厚均匀性<±3%；晶圆大小：8英寸；蒸镀腔体真空度要求：低于4×10-8mabr；加热温度：300°C；双腔体设计；手套箱箱体：单柱气体净化系统，可得水氧含量<1ppm。2850000.002023-09本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。上海大学