招标
4″单面光刻机（GY202008384）采购公告
金额
23万元
项目地址
山东省
发布时间
2020/11/16
公告摘要
公告正文
| 项目名称 | 4″单面光刻机 | 项目编号 | GY202008384 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 2020-11-16 11:30:39 | 公告截止日期 | 2020-11-19 12:00:00 |
| 采购单位 | 山东大学 | 付款方式 | 国产设备与家具：货到验收合格后付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | null | 到货时间要求 | null |
| 预 算 | ￥ 230000.0 | ||
| 收货地址 | 山东大学 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
||
采购清单
1
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 4″单面光刻机 | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 品牌1 | 四川南光真空科技有限公司 |
|---|---|
| 型号 | H94-25C型 |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 技术参数及配置要求 | 用于中小规模集成器件芯片、薄膜器件芯片、声表面波器件芯片、光电子器件芯片、微流控器件芯片、光学器件基片的研发和生产。适合硅片、玻璃片、陶瓷片、宝石片的对准曝光。 一．主要技术参数： 1．曝光类型：单面； 2．曝光面积：110×110mm；★ 3．曝光照度不均匀性：≤3%；★ 4．曝光强度：≥40mw/cm2可调；★ 5．紫外光束角：≤3？；★ 6．紫外光中心波长：365nm. 7．紫外光源寿命：≥2万小时； 8．曝光分辨率：1μm；★ 9．曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光； 10．显微镜扫描范围：X：±40mm Y：±35mm； 11．对准范围：X、Y粗调±3mm，细调±0.3mm；Q粗调±15°，细调±3°； 12．套刻精度：1μm；★ 13．分离量；0～50μm可调； 14．接触－分离漂移：≤1μm； 15．曝光方式：密着曝光，可实现硬接触、软接触和微力接触曝光； 16．找平方式：三点式自动找平；★ 17．显微系统：双视场CCD系统，显微镜45X～300X连续变倍（物镜0.75X-5X连续变倍），双物镜距离可调范围11mm～100mm，计算机图像处理系统，19″液晶监视器； 18．掩模版尺寸：3″×3″、4″×4″、5″×5″； 19．基片尺寸：φ2、φ3、φ4、“碎片”； 20．基片厚度：≤5 mm； 21．曝光定时：0～999.9秒可调； 22．对准方式：切斯曼对准机构。★ 23．曝光头转位：气动； 24. 电源：单相AC220V 50HZ ，功耗≤1KW； 25．洁净空气压力：≥0.4MPa； 26．真空度：-0.07MPa~-0.09MPa； 27．尺寸： 920mm（长）×680mm（宽）×1600mm（高）； 28．重量：约180Kg。 二、配置：本机由LED紫外曝光头、CCD显微显示系统、对准工作台、电气控制系统、备附件构成。 1．曝光头： LED紫外曝光头一台。★ 2．CCD显微显示系统： 1）CCD数码摄像机二只； 2）可变倍显微镜二只； 3）计算机图像处理系统一套（含计算机一台、采集卡一件、19″液晶监视器一台、图像处理软件一套）。 4）焦距、物距调节台一套； 5）扫描机构一套； 6）LED同轴照明光源二台。 3．对准工作台： 1）3″×3″、4″×4″、5″×5″版架各一件； 2）φ2″、φ3″、φ4″、“碎片”承片台各一件； 3）三点找平机构一套； 4）切期曼对准机构一套； 5）微分离机构一套； 6）旋转机构一套。 4．电气控制台： 1）PLC可编程控制器一台； 2）LED曝光头电源一台； 3）定时器一台； 4）电磁阀及控制系统一套； 5）气动、真空仪表一套； 6）控制台一套。 5．备附件： 1）真空软管（φ8mm）15m； 2）电磁阀二只； 3）紫外光强计一只； 4）无油静音真空泵一台； 5）无油静音空压机一台。 6．技术资料： 1）使用说明书； 2）合格证 |
| 售后服务 | 服务网点:当地;质保期限:1年;响应时限:报修后2小时;供货时间要求:成交后一个月内;提供厂家授权文件; |
点击查看来源：
4″单面光刻机（GY202008384）采购公告
解决方案
联系我们
返回顶部