专业领域：电子元器件

竞争性谈判公告
一、货物需求

设备名称	数量	交货期	交货地点	交货方式	付款方式
免助焊剂回流炉	1台	4个月	江苏省无锡市惠河路5号	CIP 上海	L/C100%(90%到货+10%验收)

 
二、技术部分:
1    主要用途
用于扇出型集成工艺中晶圆表面凸点的回流
2    功能要求
免助焊剂回流炉主要用于晶圆植球后的回流。使用新型助粘剂替代助焊剂，助粘剂具有固定锡球的作用，在植球过程中固定住锡球位置，回流时经过高温挥发排出。并且在植球后不需要助焊剂清洗。
3    动力条件/环境条件
电：三相208v@50/60Hz, 40kW
压空：1m3/h @0.6Mpa
氮气：40 m3/h @0.6Mpa
真空：1m3/h@ ＜-70Kpa
冷却水：1m3/h@ 0.4-0.6 Mpa
排风：10m3/h（一般），3m3/h（酸碱）
4    主要技术性能指标
★4.1适用晶圆尺寸：12英寸与8英寸
★4.2温控精度≤±2℃
★4.3含氧量控制：≤30ppm
★4.4最高温度：≥400℃
★4.5使用甲酸或氢气进行氧化物的还原
4.6翘曲要求：支持翘曲±5mm产品自动作业
4.7机台类型：全自动作业
4.8厚度要求：支持产品厚度≥400um作业
5    配件及备件配置要求
5.1 参数三级密码管控
5.2 程序数量≥99组
5.3 具备设备操作信息、报警信息自动存储功能
5.4 具备统计功能，包含开机时间、自动作业时间、作业片数等
5.5 具备真空实时侦测功能
5.6 安全门自锁功能，安全门没有关上或没有关到位设备不可以运行
5.7 支持SECS/GEM功能
6    验收要求
6.1  设备调试正常后，由双方技术人员依据合同中验收条款的规定，共同验收。具体验收程序和项目详见 “主要技术性能指标”的内容。
6.2  设备在采购人现场的验收为最终验收，验收合格后双方签署验收报告。
6.3  应答人应在三个月内完成设备的安装调试，如不能如期完成，可以再延长一个月，但超过一天应扣除合同总价的千分之五。如调试时间超过四个月还不能完成，采购人将该设备视为验收不合格并作退货处理。采购人应在应答人完成安装调试后三个月完成验收。
6.4  设备外观配置验收
6.4.1 设备到货包装完好，无明显损伤，并具装箱单、合格证书、使用说明书等。
6.4.2 设备外表符合供货要求，铭牌标记与设备一致。
6.4.3 根据本技术协议设备的标准配置，逐项清点，确保配置齐全。
6.4.4 主机设备内部各个部件均为全新的，并有易损部件清单、备件号以及设备装配图。
6.4.5 设备安装调试验收单
6.5  设备运行验收
6.5.1 设备空运转，开\关机操作10次，设备启动正常。
6.5.2 以双方约定的样品进行现场验证，只有当所有样品均可正常运行工作，并达到采购人的要求，才可以认为该设备运行正常。
6.6  安装调试完成后进行设备工艺验收，具体方案如下表：

序号	验收项目	验收条件	测量方法或工具	验收标准
1	温度测试	100℃、150℃、200℃、250℃、300℃、350℃、400℃温度测量，且各区温度测量值在设定值±2℃以内为合格	TC   wafer与KIC测温仪	连续测量30天，2次/天，各区温度测量值在设定值±2℃以内
2	氧含量	≤30ppm	氧含量分析仪	连续测量30天，2次/天，氧含量均≤30ppm视为通过
3	回流测试	1、Sn63Pb37成分凸点回流 2.、Sn10Pb90成分凸点回流 3.、SnAg1.8成分凸点回流 4、SAC305成分植球凸点回流	光学自动检测仪、X-ray	每种成分凸点8英寸与12英寸圆片各作业10片，回流后测量球高、球径、剪切力满足标准要求；X-ray扫描无空洞。
4	系统故障时间	≤5%	/	以7天，24小时计； 验收过程中若未发生故障，视为通过
5	MTBF	两次失效间的平均间隔时间 >= 720 小时	/	30天内设备运行过程中若未发生失效，视为通过

 
7    质量保证及售后服务
7.1  质量保证：不少于12个月的免费上门服务及技术支持（质量保证期自项目安装调试合格验收之日起计算）；所售设备在国内有专业维修站或配备专业维修工程师，如设备遇质量问题，24小时内给予回应，48小时内到现场进行维修服务；因设备质量问题或卖方延误维修造成停机停产则相应延长质量保证期。
7.2  在保修期过后，卖方继续向买方提供及时有效的售后服务和零备件供应，保证能提供长期的技术服务和维修服务，卖方应承诺保证零备件供应期不少于10年。卖方有义务给予买方维护的方便条件：如以优惠的价格提供必要零备件，派人上门维修等
8    运输及包装要求
卖方提供设备运至合同规定的最终目的地所需要的包装，以防止设备在转运中损坏或变质。这类包装应采取国家或专业标准，包括防潮、防晒、防锈、防腐蚀、防震动及防止其他损坏的必要措施，从而保证设备能够经受多次搬运、装卸及长途运输
9    安装调试要求
9.1应答人按合同提供全新原厂制造的整套设备；保证整台设备能完成指定的工作任务。应答人应提供设备运至合同规定的最终目的地所需要的包装，以防止设备在转运中损坏或变质。这类包装应采取国家或专业标准，包括防潮、防晒、防锈、防腐蚀、防震动及防止其他损坏的必要措施，从而保证设备能够经受多次搬运、装卸及长途运输。
9.2应答人应保证并承诺其提供的货物是全新的，采用最新设计和合适材料制造的，并在各个方面符合合同规定的质量、规格和性能的原厂原装产品。提供的零备件须与设备上的原件为同一品牌、同一型号规格。
9.3应答人在设备装箱时，应附有一份与合同货物完全相符的详细的装箱清单。货物抵达后，双方在现场开箱检查，设备型号、数量、备件等应与装箱单及合同相符，设备外观无损伤锈蚀，标志清晰。如有不符，采购人应在开箱后 4 个工作日内向应答人提出异议。应答人确认后，须在 10 个工作日内完成退换货或增补备件等工作。若对所发现的问题双方持不同意见，可提请由第三方中国无锡出入境商品检验检疫局检查并出具相关证明。
9.4在货到前一个月，应答人将提供采购人安装现场的物理条件，如电源条件等。并提供改善安装现场条件的建议。
9.5当采购人收到设备后，应妥善安放，并通知应答人派人安装、调试的时间。安装、调试由应答人负责。
9.6设备到达买方现场，应答人应在接到采购人通知后5个工作日内派遣经验丰富的工程师到现场安装调试。应答人应负责正确指导设备的安装、调试及试生产，要求在计划的时间内达到正常生产能力，并及时提供合同规定的备品备件。
9.7验货时由买卖双方共同开箱清点设备种类、数量，并检查设备外观、结构。
9.8设备安装调试完后，由买卖双方共同进行验收。应答人提供校验及验收所需的全部标准品。
9.9应答人在采购人现场工作期间，采购人提供免费工作餐饮。其他费用自理
10.联系方式
采购 人：无锡微电子科研中心
地    址：无锡市滨湖区建设西路777号B1楼
联 系 人：廖聪湘
电    话：0510-858161059
传    真：/
电子邮件：/
必须满足的指标前打★