采购项目名称：定制离子引导真空系统
采购项目编号：清采比选20241447号
对外联系人：UM MARK
联系电话：18552798674
采购单位：清华大学
物资名称：定制离子引导真空系统
采购数量：1
计量单位：套
单价：￥350000
技术参数及配置要求：所有材料均为316L不锈钢，需要保证极限真空达到1E-11mbar的量级，光洁度要达标。提供全套系统设计，并能够在12小时内快速反应需求。 完成预装配测试，压缩货期至1个月之内，保证一切顺利进行。 具体需求请电话沟通。 1.定制不锈钢腔体 一件 预留气路接口、泵接口、通信接口、馈通等其它刀口法兰； 尺寸参数：定制尺寸，以模型为准 真空腔最大接口为CF350，除此之外还有5个CF100接口，6个CF35接口，1个CF16接口，同时内部需要根据要求设计、定制、加工。 需要达到极限真空1E-11mbar的量级，需要清洗到位，进行漏率测试。 2. 离子收集 （要提供方案和工艺要求） 根据不锈钢腔体的开口、靶组件、喷嘴等安装需求，设计结构，电极件83片，不同大小电极片各不相同，厚度达到0.5mm的量级，镜面抛光 保证平整度，保证光洁度等。 3.方腔六通1 六个接口均为CF100，内部需要根据设计需求特殊加工定制，中间焊接CF63方腔 预留泵接口、通信接口、馈通等其它刀口法兰 定制尺寸，以模型为准 4定制六通2 六个接口均为CF100，同时内部根据需求 预留泵接口、通信接口、馈通等其它刀口法兰 尺寸参数：定制尺寸，以模型为准 5.定制四级杆组件 四极杆组件电极约40个，均要求镜面抛光 6.支架及其它配件 腔体框架、支撑板、支撑架、靶件等 7.焊接电极法兰若干 8.提供约10+盲法兰，提供三通等，均需满足漏率要求 整体尺寸长*宽*高约为 1100*760*990 mm； - 所有设计工作需在合同签订之前落实全部图纸
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