一、项目信息

采购人：江汉大学

项目名称：化环学院粉末原子层沉积设备采购

拟采购的货物或者服务的说明：

1. 可实现粉末的ALD及MLD包覆
2. 全对称360度可加热不锈钢真空双腔体结构，加热温度不低于300oC。
3. 防腐机械泵抽速不低于15 m3/hr。
4. 20 Torr和1000 Torr薄膜规各一套。
5. 极限压力不大于50 m Torr。
6. 可放置粉末和平面块体的样品桶2个，样品桶可旋转，转速不小于220 RPM；样品桶带振动功能专门处理粘性粉末材料。
7. 可加热，可自动控制的完整阀门和线路，且加热温度不低于200 oC。
8. 配备专为MLD前驱体设计的自动控制自清洁阀组。
9. 可自动加热的尾气管路的加热温度不低于150 oC。
10. 配备泵前级过滤和2个专用两级MLD尾气过滤系统。
11. 具备1个RGA接口和一个石英微晶天平QCM接口。
12. 配备包括自动界面，手动界面，系统监控界面，工艺菜单编辑界面的专业ZLD软件控制系统，软件需免费升级，质保期需在1年以上。
13. 必须配备实时数据监控系统，存储大小不低于32GB，兼容USB。具备异常报警, 软件报警，出错日志记录及外部报警指示灯功能, 内置工业标准自动安全互锁，用户登录和授权管理系统和 EMO紧急制动按钮。
14. 配备15寸16位高彩色触摸屏。
15. 前驱源必须配备2路反应气体，1路吹扫气体，1路载气气路和4个MFC 200/500 sccm气体流量计。
16. 2个容量不低于50mL且配备世伟洛克阀门的单管式源瓶。
17. 1个容积不低于100mL,自动加热温度不低于200 oC且配备世伟洛克阀门的可加热双管Bubbler式源瓶。
18. 1套容积不低于100mL，自动加热温度不低于200 oC，配备世伟洛克阀门，专利设计的高通量YMLi瓶源。
19. 1个容积不低于100mL,自动加热温度不低于200 oC且配备世伟洛克阀门的可加热，用于MLD自清洁的双管Bubbler式M源瓶。
20. 浓度不低于10%的臭氧发生器和消除器1套及集成。
21. 精度不低于0.1A，加热温度不低于200 oC的全自动原位厚度QCM测试系统1套。
22. 容量不低于50mL的单管式源瓶2个。

拟采购的货物或服务的预算金额：95.0000000 万元（人民币）

采用单一来源采购方式的原因及说明:

粉末式ALD/MLD是材料表面包覆改性的最新技术手段，可以实现在粉体电极，电解质材料或极片表面的原子层或分子层级别的精准包覆生长，生长精度可以控制在一个原子层。本学院的实验工作中需要基于原子层生长原理，在储能器件相关的材料粉体表面直接形成原子、分子和团簇的纳米级厚度的薄膜，改变材料表面的理化性质，达到优化储能器件的电化学性能的目的。
目前国内能够满足以上功能需求和性能需求的粉体材料包覆平台只有厦门韫茂科技开发的YM GM10粉末ALD/MLD平台。

综上所述，依据《政府采购法》第三十一条“符合下列情形之一的货物或者服务，可以依照本法采用单一来源方式采购：（一）只能从唯一供应商处采购的”的规定，评审组专家一致同意本项目采用单一来源方式采购。

二、拟定供应商信息

名称：厦门韫茂科技有限公司

地址：厦门市软件园三期集美大道1300号创新大厦6楼之四十一

三、公示期限

2020年11月20日 至 2020年11月26日

四、其他补充事宜：

五、联系方式

1.采购人

联系人：江汉大学　　　　　

地址：武汉市三角湖路　　　　　　　　

联系方式：张老师，027-84225112　　　　　　

2.财政部门

联系人：/

联系地址：/

联系电话：/

3.采购代理机构信息

名 称：湖北省成套招标股份有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：武汉市武昌区东湖西路平安财富中心大厦B座7楼（东湖大厦正对面）　　　　　　　　　　　　

联系方式：杨雨莹 刘雄 于超 程浩 徐沫，18064109979