[BA202301448]OLED蒸镀设备备案公示公告
发布时间：2023-11-09 14:14:32
采购信息

项目编号	BA202301448	项目名称	OLED蒸镀设备
经办人单位	化学学院	经办人	李成龙
预算金额	280000.00 人民币	成交金额	280000.00 人民币
成交供应商	沈阳奇汇光电科技有限公司	质保期	12 月
联系地址	辽宁省-沈阳市-沈北新区蒲文路16-69号（101）201室	采购单位	吉林大学化学学院
付款方式	货到验收合格办理相关手续后100%付款。
供应商联系手机	13324028661	交货时间	成交单签订后135天内交货
交货地址	吉林省-长春市-前进大街2699号吉林大学中心校区超分子楼B218
交货方式	乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。
包装及运费	由乙方免费提供及承担
验收方式	以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。
售后服务要求	1. 设备调试人员上门安装，免费培训。 2. 售后服务及时。 3. 保修期1年。 4. 对于质保期以外设备的维护，我公司将继续提供优质、价廉、及时的售后服务,终身维护。

明细清单

采购品目	其他电工、电子专用生产设备	品牌名称	奇汇
名称	OLE蒸镀设备	产地及生产商	中国-沈阳奇汇光电科技有限公司
规格型号	QHV-R168	数量	1
计量单位	台	保修年限	1 年
单价	280000.00 人民币	总价	280000.00 人民币
主要技术参数	序号 项 目 说 明 1. 极限真空 2×10-5Pa（新设备） 2. 漏 率 ≤6.7×10-8Pa·L/S 3. 工作真空 5×10-4Pa，从大气到工作真空时间小于15分钟（新设备,经过有机/金属源烘烤后充干燥N2） 4. 系统保压 系统抽到极限后，停泵关机12小时后，系统真空度保持状态≤2Pa。 5. 样品尺寸 32×32mm. 6. 样品架结构 自动掩膜圆盘样品架。5样品。 7. 样品架 0~30转/分。 8. 样品架与源表面距离 340mm固定 9. 蒸发源 有机蒸发源×10只，加热400度； 金属蒸发源×2只。可加200A;整圆周分布。10. 蒸发源挡板 有机蒸发源挡板×10套，电动旋转 金属蒸发源挡板×2套，电动旋转。 11. 真空室开腔形式 手动前大开门结构 12. 膜厚探头 4套。（样品架中心弯管安装一套水冷探头，侧壁安装三套。国产） 13. 真空计 冷规方式。 14. 抽真空方式 电动+气动，自动抽取真空，程序控制。 15. 膜厚及均一性 100nm≤±5%。 16. 控制方式 可控制金属蒸发电源、有机蒸发电源、膜厚仪17. 对接口 可对接手套箱。 18. 蒸发方式 金属蒸镀闭环速率反馈蒸镀，有机源功率控制，温度控制方式。 19. 蒸发电源 有机蒸发电源×3套。（每套二带四） 金属蒸发电源×1套。 20. 电控 大触摸屏+PLC控制。 21. 内部烘烤： 无烘烤。 22. 膜厚不均匀性和重复性 ≤±3%（基片中心10mm×10mm范围内）。

信息咨询

吉林大学招标与备案(采购)管理中心	设       备       类：林老师:   0431-85167310 工       程       类：白老师:   0431-85167313 服务及其他货物：李老师:   0431-85167309