申购单号：CB105932022000271成交总额：88300.0
申购主题：化学气象沉积用等离子增强系统 送货时间：合同签订后7天内送达
采购单位：广西大学 安装要求：免费上门安装（含材料费）
竞价开始时间：2022-09-06 08:55:22 收货地址：
竞价截至时间：2022-09-09 17:00:00
币种：人民币
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：申请单号：CS22080052
质疑说明：如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
竞价结果：
采购项：化学气象沉积用等离子增强系统 品牌： 哈腾科技 型号： HTGL-1200
成交总价：88300.00
成交供应商：苏州哈腾科技有限公司
质保及售后服务： 1、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；2、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；3、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；4、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；5、其他按行业标准提供服务；
技术参数： 电源要求： 电压：AC220V 50/60Hz； 混气部分： 六路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制 各路气体及量程: NH3：200sccm；N2：200sccm；Ar：200sccm；N2O：200sccm；H2：200sccm;CH4：200sccm； 内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀 管路采用不锈钢管，接口为Φ6卡套 每路气体进气管路配有不锈钢针阀 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量 流量精度：±1.5% 气体控制示意图： 等离子增强部分： 输出功率:0-500W；功率稳定度：≤2W；射频电源频率:13.56MHz；最大反向功率:70W；射频电源电子输出端口:N-type,female； 冷却:风冷； 电源:AC187-253V 50/60Hz 需配备尾气处理装置和混气罐