南昌实验室晶圆热压键合机采购项目竞争性磋商变更公告（招标编号：JXYX2024-NCSYS-0403） 一、内容： 1、项目基本情况 原公告的采购项目编号：JXYX2024-NCSYS-0403 原公告的采购项目名称：南昌实验室晶圆热压键合机采购项目 首次公告日期：2024 年 04 月 15 日 2、更正信息 更正事项：采购公告、采购文件 更正内容： 2.1、原竞争性磋商文件中“第六章 项目采购需求 （一）技术要求”：一、晶圆热压键合机技术参数（数量：1 台，预算 136 万元） (一)核心技术指标 1. 适用 2 寸和 4 寸兼容晶圆键合（可同时键合 6 片晶圆）。 2、最高操作温度 400℃（均匀性可达±3%）。 3、上下压头温差(介于 250℃--500℃温度区间)△T≤±7℃。 ▲4、4 寸芯片小于 300℃内外温度公差△T≤±7℃。 ▲5、芯片冷却速度:300℃降至 90℃(压力>7000Kg)小于 25 分钟。 6、加热模式采用石英加热灯加热 。 (二)基础技术指标 1、压力控制方式 a)三轴压力各自独立控制； b)最高操作压力 12000kg，压力升压速度最大 300kg/秒，压力偏差±3%；▲c)最小操作压力 800kg 可控，压力偏差±3%。 2、机器运行软体 a) 制程参数 step 可达 60 组以上； b) 机器异常信息，操作信息，参数变更信息等记录完整，查询方便。 3、软件可以针对泵体和加热器做维修时间设定，可以监控 parts 的使用情况。 4、可搭配主动式冷却板设计，提高降温速率，缩短制程时间。 5、系统记录完整，包括实时工艺曲线，参数变更记录，异常信息记录等。 ▲6、配套石英加热灯 5 组；调档软件 1 套；4 寸石墨堆叠治具 11 套。 现变更为： 一、晶圆热压键合机技术参数（数量：1 台，预算 136 万元）(一)核心技术指标 1. 适用 2 寸和 4 寸兼容晶圆键合（可同时键合 6 片晶圆）。 2、最高操作温度 400℃（均匀性可达±3%）。 3、上下压头温差(介于 250℃--500℃温度区间)△T≤±7℃。 ▲4、4 寸芯片小于 300℃内外温度公差△T≤±7℃。 ▲5、带冷锥吹扫降温，芯片冷却速度:300℃降至 90℃(压力>7000Kg)小于 25 分钟，（提供 冷锥图片并加盖供应商公章） 6、加热模式采用石英加热灯加热。 (二)基础技术指标 1、压力控制方式 采用包容式恒温装置 a)三轴压力各自独立控制； b)最高操作压力 12000kg，压力升压速度最大 300kg/秒，压力偏差±3%；▲c)最小操作压力 800kg 可控，压力偏差±3%。 2、机器运行软体 a）具有恒定的线性技术，支持实验室数据管理系统，支持样本信息的传输，数据的管理，报告的生成。(提供软件截图并加盖供应商公章) b) 制程参数 step 可达 60 组以上； c) 机器异常信息，操作信息，参数变更信息等记录完整，查询方便。 3、软件可以针对泵体和加热器做维修时间设定，可以监控 parts 的使用情况。 4、可搭配主动式冷却板设计，提高降温速率，缩短制程时间。 5、系统记录完整，包括实时工艺曲线，参数变更记录，异常信息记录等。 ▲6、配套石英加热灯 5 组；调档软件 1 套；4 寸石墨堆叠治具 11 套。 2.2、原竞争性磋商文件中获取采购文时间：2024 年 04 月 16 日至 2024 年 04 月 22 日，每 天上午 8：30 至 12：00、下午 14：00 至 17：00 时（北京时间，法定节假日除外）。 现变更为：2024 年 04 月 16 日至 2024 年 04 月 23 日，每天上午 8：30 至 12：00、下午 14：00 至 17：00 时（北京时间，法定节假日除外）。 2.3、原竞争性磋商文件中响应文件提交、开启时间：2024 年 04 月 26 日 15 点 00 分（北京 时间） 现变更为：2024 年 04 月 28 日 15 点 00 分（北京时间） 2.4、其他内容不变，以最新公告内容为准！ 更正日期：2024 年 04 月 23 日 3、其他补充事宜 无 4、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。 4.1.采购人信息 名 称：南昌实验室 地 址：南昌市高新区艾溪湖北路 679 号 联系方式：胡武民 0791-88317692 4.2.采购代理机构信息 名 称：江西银信工程造价咨询有限公司 地 址：南昌市青山湖区高新大道 1970 号天幕国际写字楼 13 楼 联系方式：乐岚、彭远康、熊松 0791-86162786 4.3.项目联系方式 项目联系人：胡武民 电 话：0791-88317692 延期开标：2024-04-28 15:00:00 二、监督部门 本招标项目的监督部门为南昌实验室。 三、联系方式 招 标 人：南昌实验室 地 址：南昌市高新区艾溪湖北路 679 号 联 系 人：胡武民 电 话：0791-88317692 电子邮件：/ 招标代理机构：江西银信工程造价咨询有限公司 地 址： 南昌市青山湖区高新大道 1970 号天幕国际写字楼 13 楼 联 系 人： 乐岚、彭远康、熊松 电 话： 0791-86162786 电子邮件： jxyinxin@vip.163.com 招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：（签名） 招标人或其招标代理机构：（盖章）