东莞市中晶半导体科技有限公司第三代半导体GaN基衬底及MicroLED产业化(改扩建)项目 受理号(号)20230022581项目名称东莞市中晶半导体科技有限公司第三代半导体GaN基衬底及MicroLED产业化(改扩建)项目建设地点东莞市企石镇北纵二路2号建设单位东莞市中晶半导体科技有限公司环境影响评价机构广东绿航环保工程有限公司项目概况东莞市中晶半导体科技有限公司是一家集半导体材料、芯片、器件等设计、研发、生产于一体的综合开发公司。2021年10月东莞市中晶半导体科技有限公司拟投资500万元，在东莞市企石镇北纵二路2号(北纬23°02′22.88″、东经114°02′48.36″)建设东莞市中晶半导体科技有限公司第三代半导体GaN基衬底及MicroLED产业化改扩建项目。本次改扩建不新增现有产品产能，结合实际生产经验，对现有产品清洗生产工序进行改建，提高清洗次数以满足产品要求，并新增硅衬底外延片、蓝宝石衬底外延片，产生量分别为23040片/a、2688片/a，生产废水依托自建污水站处理。主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施①环境空气影响评价结论项目产生的有机废气经收集后，采用二级活性吸附装置处理，经处理后尾气通过25m高1#排气筒外排，满足《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367-2022)表1挥发性有机物排放限值要求；项目新增的G5MOCVD和中晟MOCVD设备产生的氨气、颗粒物经自带的过滤器处理后，再依托于原有的外延废气处理设施（五级冷凝吸收装置+酸液喷淋塔）处理，尾气经25m高3#排气筒外排，满足广东省《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)第二时段二级排放标准和《恶臭污染物排放标准》(GB14554-1993)表2恶臭污染物排放标准要求；外延设备清腔未消耗完的氯气采用设备尾气端氯气吸附剂进行吸附后，再依托原有的氯气处理设施（碱洗涤塔净化）处理，尾气经25m高2#排气筒外排，满足广东省《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)第二时段二级排放标准；污水处理站产生的恶臭废气经收集后采用干式过滤器+活性炭吸附装置处理，尾气通过20m高4#排气筒外排，满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-1993)表2恶臭污染物排放标准要求；无组织废气，厂区执行《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367-2022)表3厂区内VOCs无组织排放限值；硫酸雾、HCl、氟化物、氯气、颗粒物无组织排放执行广东省《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)第二时段无组织排放监控浓度限值；氨、硫化氢、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-1993)恶臭污染物厂界标准值；综上所述，废气经处理后对周围环境影响较小。②水环境影响评价结论及污染防治措施项目改扩建后排放生产废水268.51m3/d，依托原有的污水处理站进行处理（处理规模为300m3/d），约5m3/d(134.25%)生产废水处理达标后回用于清洗工序和酸碱液喷淋塔、冷却塔补水；剩余134.26m3/d(50%)生产废水经MBR+活性炭吸附罐处理后满足广东省《水污染物排放限值》(DB44/26-2001)第二时段三级标准、《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)B等级标准及《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放中电子专用材料标准的较严值要求，经市政污水管网排入企石镇污水处理厂处理。③声环境影响评价结论项目昼夜均进行生产，采取经墙体隔音、减振和消声等措施处理后，项目营运期噪声对厂界的噪声预测值较小，不会对周围的日常生活造成明显影响，使厂界噪声控制在昼间65dB(A)、夜间55dB(A)，符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准要求，对周围环境影响不大。④固体废弃物影响评价结论项目产生的危险废物定期交有危险废物处置资质的单位处置；一般工业固体废物交由专业单位处理。采取上述措施后，项目固废不外排，对周围环境影响较小。公众参与情况相关环保措施承诺严格落实环评文件中的各项环保措施，确保达标排放，并落实风险防范措施，将环境风险降低到可接受水平。公示时间2023-10-24联系人东莞市生态环境局松山湖直属分局联系电话22890039通讯地址东莞市松山湖园区红棉路6号创新科技园10号楼228初步审查意见根据《中华人民共和国环境影响评价法》、《建设项目环境保护管理条例》、《建设项目环境影响评价分类管理名录》、《建设项目环境影响报告书（表）编制监督管理办法》以及环境影响评价有关技术导则、建设项目环境影响评价审批程序等有关规定，我局对该建设项目的环境影响评价文件（见附件）等材料进行审查，对该建设项目环境影响评价文件作出拟不予批准的审批意见。初步审查意见附件备注为体现公开、公正的原则，维护公众环境权益，现拟作出审批意见的环境影响评价文件基本情况予以公示，公示期五个工作日。听证告知：依据《中华人民共和国行政许可法》，自公示之日五个工作日申请人、利害关系人可对以上拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见提出书面听证申请。