采购项目名称：硅片夹具(2英寸、3英寸、4英寸)
采购项目编号：清采比选20240168号
对外联系人：本项目不接受咨询
联系电话：本项目不接受咨询
采购单位：清华大学
物资名称：硅片夹具(2英寸、3英寸、4英寸)
采购数量：3
计量单位：套
单价：￥43566.67
技术参数及配置要求：8英寸转4英寸夹具1套，8英寸转3片3英寸夹具1套，8英寸转7片2英寸夹具1套。 夹具配套使用在SENTECH SI500 ICP深硅刻蚀设备上。
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