PECVD系统竞价项目

中标

PECVD系统竞价项目

PECVD系统

金额

19.86万元

项目地址

发布时间

2022/11/29

公告摘要

项目编号hw2022000686

预算金额19.86万元

招标公司-

招标联系人-

中标公司广州丁克科学仪器有限公司19.86万元

中标联系人-

公告正文

一、采购需求信息

项目号

HW2022000686

设备品目类别

仪器设备

设备用途

教学

竞价开始时间

2022-11-24 10:22:42

竞价结束时间

2022-11-28 10:22:00

PECVD系统

商品名称

PECVD系统

品牌/厂家

合肥科晶

型号

OTF-1200X-II-50-4CLV-PE（带滑轨）

数量

计量单位

台

成交单价

198690.00 元

成交供应商

广州丁克科学仪器有限公司

保修年限

2年

技术指标

炉管：50 O.D*44 I.D*1860mm 双温区滑轨式，☆加热区长度总共445mm，50段可编程控温仪表，单独控制的加热区；等离子发射源：输出功率: 5 -500W±1% 射频频率: 12 MHz反射功率:最大200W 冷却:风冷；真空泵机组：KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连.管内真空可达10E-2 Torr ，进口防腐真空计，☆蓝牙控制电源；BaZrO3坩埚70*100mm:4个，炉管4根。☆6平方电源线15米，50A空开1个，铂铑热电偶校准3次,GENTEC减压阀

安装及售后要求

负责上门安装调试

附件

无

更多咨询报价请点击： http://wsjj.zbzx.scut.edu.cn/notices/14043