宁波东方理工大学（暂名）及宁波市东方理工高等研究院 - 竞价公告 (CMEIAS2024000121)
发布时间：2024-12-05 15:22:33 截止时间：2024-12-12 11:00:00
基本信息：
申购主题：探针台测试系统
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：货到验收合格后付款，有其他付款需求请在报价时备注
送货时间：合同签订后90天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：499000 人民币

收货地址：浙江省/宁波市/镇海区/****
供应商资质：
备注说明：
采购明细：

序号	采购内容	数量	预算单价	可选品牌型号	规格参数	质保及售后服务	附件

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探针台测试系统

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499000 (人民币)

森东宝/CL-6 MPI/TS150 FORTEC/CH-8

1. 1. 测试系统应支持多种类型器件的电学性能测试,如两抽头、三抽头器件、小信号晶体管、集成电路、光电器件等。系统至少满足以下功能要求：I-V 测量、漏电流测试、脉冲响应测试、高精度电阻测量、噪声测试以及信号干扰分析。 2. 晶圆大小：6inch并向下兼容。 3. 卡盘：带快速抽拉功能，带旋转调节、粗细调节功能，支持X/Y轴线性移动，行程至少为6inch x 6inch，移动精度：≤5μm；并配备机械锁紧装置。 4. 卡盘Z轴升降，行程≥8mm，微调精度≤2μm，带机械锁紧装置。 5. 针座平台快速升降行程≥5mm，带机械锁紧装置。 6. 显微镜X-Y移动范围至少为2inch x 2inch，具备显微镜快速倾仰装置，并带机械锁紧装置。配置PSM1000高分辨率金相显微镜, 最大放大倍率不低于2500倍，可调；配置CCD内嵌控制测量软件。 7. 探针座X-Y-Z 方向的移动行程≥20mm。 8. 探针座移动精度≤ 0.5 μm 。 9. 漏电精度≤ 50fA，配置至少6套探针座。 10. 最大可耐脉冲电流≥10A,最高可耐脉冲电压≥1500V 。11. 配置气浮防震桌。 12. 脉冲函数任意噪声发生器，要求如下： 12.1. 脉冲测试应支持至少1 μHz-120 MHz可变上升/下降时间脉冲生成。 12.2. 脉冲输出个数可控（最小脉冲个数为1个）。 12.3.至少满足1 μHz-240 MHz正弦波输出。 12.4.可产生脉冲、正弦波、方波、斜波、噪声和任意波形，并具有可调整的波峰因数和信号重复的噪声。 12.5.1通道输出，每个通道的正常输出电流最大不超过440mA。 12.6.电压范围至少满足-20v至20V,可调。 12.7. FM、AM、PM、PWM、FSK调制能力≥10MHz。 13. 配置数字源表，要求如下： 13.1.数字源表测试的源/测量分辨率:不低于6位半。 13.2. 数字源表通道数:至少2通道；支持4探针法测电阻。 13.3.最大电流源/量程:≥1.5A/10A(直流/脉冲)，最大电压源/量程: ≥200V。 13.4.最小电流/电压测量分辨率:≤0.1fA/100nV,最小电流/电压源分辨率:≤20fA/5uV。 13.5.电压基本精度/电流基本精度:≤0.015%/0.02%。 13.6.电阻测试范围:至少覆盖0.5uΩ to 10 PΩ, 13.7.TSP-Link 通道扩展总线，可拓展进行多通道并行测试。 13.8. 数字源表包含测试软件，配置电脑主机和显示器。

探针台质保2年， 数字源表和脉冲函数任意噪声发生器质保1年，按行业标准提供服务