A02052402真空应用设备 详见项目详情 265.000000 2022年12月 详见项目详情 4 南开大学 等离子体增强化学气相沉积（PECVD） A021099其他仪器仪表 详见项目详情 195.000000 2022年12月 详见项目详情 5 南开大学 激光直写系统 A02100599其他试验机 详见项目详情 420.000000 2022年12月 详见项目详情 6 南开大学 反应离子束刻蚀机（RIBE） A021099其他仪器仪表 详见项目详情 700.000000 2022年12月 详见项目详情 7 南开大学 氯基反应离子束刻蚀（RIE） A021099其他仪器仪表 详见项目详情 195.000000 2022年12月 详见项目详情 8 南开大学 原子层沉积（ALD） A021099其他仪器仪表 详见项目详情 135.000000 2022年12月 详见项目详情 9 南开大学 白光干涉仪 A02100304光学测试仪器 详见项目详情 150.000000 2022年12月 详见项目详情 10 南开大学 全自动激光划片机 A02100599其他试验机 详见项目详情 120.000000 2022年12月 详见项目详情 11 南开大学 电感耦合等离子刻蚀机（ICP） A021099其他仪器仪表 详见项目详情 280.000000 2022年12月 详见项目详情 12 南开大学 矢量信号发生器 A021199其他电子和通信测量仪器 详见项目详情 285.000000 2022年12月 详见项目详情 13 南开大学 四通道矢量网络分析仪 A021199其他电子和通信测量仪器 详见项目详情 790.000000 2022年12月 详见项目详情 14 南开大学 信号分析仪 A021199其他电子和通信测量仪器 详见项目详情 270.000000 2022年12月 详见项目详情 15 南开大学 模拟、混合集成电路测试仪器 A021199其他电子和通信测量仪器 详见项目详情 220.000000 2022年12月 详见项目详情 16 南开大学 半导体性能超快测试升级模块（部分） A021128电子和通信测量仪器零部件 详见项目详情 150.000000 2022年12月 详见项目详情 17 南开大学 分子材料增材制造快速成型设备 A02100599其他试验机 详见项目详情 160.000000 2022年12月 详见项目详情