分包号

采购项目名称

拟采购供应商名称

地址

八

步进式光刻机项目单一来源采购

上海微高精密机械工程有限公司

上海市浦东新区建业路315弄4号

九

电子束蒸发台项目单一来源采购

四川棱戊科技有限公司

中国（四川）自由贸易试验区成都高新区府城大道西段399号7栋3单元307号

十

涂胶显影机项目单一来源采购

中国电子科技集团公司第四十五研究所

北京经济技术开发区泰河三街1号

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