东南大学 - 竞价公告 (CB102862023000412)
发布时间：2023-04-17 08:51:58 截止时间：2023-04-19 09:00:00
基本信息：
申购主题：速普离子溅射仪
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：预付款五成，货到验收合格后付尾款
送货时间：发布竞价结果后7天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：****** (元)

收货地址：江苏省/南京市/玄武区/****
备注说明：
申购明细：
序号
1
采购内容
速普离子溅射仪
数量
1套
预算单价
品牌
速普仪器
型号
ISC150T
规格参数
一、 技术指标：
（一）：主要功能：
1. 离子溅射仪是一个用于扫描电镜样品制备的设备，主要用途是在样品表面溅射一层金或者铂材料，其适用的样品包括生物医疗、粉末样品、半导体、纤维、微纳加工、材料、锂电样品、植物、生物等对电子束敏感和不导电的样品。
2. 电子束敏感的样品主要包括生物样品，塑料样品等。SEM中的电子束具有较高能量，在与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料，那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用，防止此类损伤；
3. 不导电的样品由于样品不导电，其表面带有“电子陷阱”，这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应，可在样品表面镀一层金属导电层，镀层作为一个导电通道，将充电电子从材料表面转移走，消除荷电效应。在扫描电镜成像时，溅射材料可以增加信噪比，从而获得更好的成像质量。
4. 该离子溅射仪可以用于溅射碳薄膜，用于EDX\ EBSD \TEM的样品分析。
5. 该离子溅射仪可以用于其他材料的溅射镀膜，包括Ag\Cu\W\Cr\Fe\Ni等材料，用于做金属层或者其他用途。
技术参数：
1.★真空泵组：进口一线品牌无油隔膜泵+分子泵组
2.泵组抽速：隔膜泵抽速≥0.7 m3/h ；分子泵抽速≥60 L/S
3. ★极限真空：≤10E-3 Pa
4.工作气压： 0.5-2 Pa
5.抽真空时间：≤5min
6.真空测量：大气压到10E-3 Pa，进口品牌皮拉尼真空计
7. ★气体控制：MFC气体质量流量控制器（50SCCM Ar）
8. ★样品腔室尺寸：φ150*110mm；不锈钢腔体
9. ★磁控溅射源：靶材尺寸φ50*0.1-3mm（建议厚度＞0.2mm）/带手动挡板；可溅射贵金属Au、Pt、Pd等，也可以溅射Cr、W、Ag、C等材料（通Ar气）
10. ★溅射电源：恒功率磁控DC溅射电源，Max. 30W， Max. 100mA
11.溅射时间：可程序设定
12.操作方式：触摸屏控制
13.重量尺寸：30 Kg； 500 mm宽*400 mm深*470 mm高
14.电源：110-220V AC，50/60Hz 接地三脚插头
15.功耗：＜500W
16.冷却方式：风冷
17. ★选配附件：可加装真空等离子清洗模块
18.电动旋转样品台转速：10-60rpm
19.旋转台手动偏转角度：+-40度
质保及售后服务
1、质保期限：验收合格后12个月
2、售后服务要求：产品质保期为验收合格后12个月。产品提供12个月免费保修服务，保修期间，投标方承担因产品故障所产生的维修费用和部件更换费用；保修期外，适当收取零部件更换成本和人工费用。
在保修期内，自用户提出故障之日起，半小时内做出响应，提出解决方案，一般问题应在48小时内解决，重大问题或其他无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案，返厂维修期间提供备用机供客户使用。保修期外设备零配件损坏，确经买方确认维修不好如需更换，卖方以成本价或不高于设备成交折扣比例价格提供新零配件。卖方免费提供设备软件的终身升级与维护。
附件