南方科技大学 
 
SUSTech-JC-2023-01838
竞采采购公告

项目名称	高真空退火炉
项目编号	SUSTech-JC-2023-01838
项目类型	货物类
成交方式	最低价成交
采购方式	公开竞采
公告开始时间	2023-11-07 10:56:01
公告结束时间	2023-11-14 10:56:01
预算(元)	498000.00
项目预算是否含税	国产含税
备注

采 购 明 细
	序号	名称	数量	单位
	1	超高真空晶圆退火系统（核心货物）	1	套
	品牌 无推荐品牌 型号 无推荐型号 技术规格及参数 超高真空退火炉 ★1.全自动控制系统，触摸屏操作，含手动和自动两种控制模式。实时控制温度、时间、气体流量、真空度等工艺参数并显示记录其变化曲线。基于recipe的工艺参数设置，可在线保存和更改。 1套 #2.超高真空双门腔室设计，内门用于手套箱内开启，外门用于大气侧铰链式开启，含互锁安全开关。支持晶圆尺寸≥2”。 #3.退火温控范围：室温~500℃，温控精度：±2k。 ★4. 含1件高真空分子泵，抽速≥80l/s；1件涡旋干泵，抽速≥11.4m3/h。腔室极限真空≤1×10-7mbar。全量程真空计，测量范围：大气至5x10-9 mbar。 ★5.进气及压力控制系统1套，氩气：0-20 sccm，氢气：0-20 sccm。稳压控制系统，压力：10-3mbar。 6.集成于手套箱背面，手套箱内部空间：3600*780*900mm。含集成光刻机、拉曼、二维平台改造。可得水氧含量：<1ppm。 质保期 1年 售后要求 中标人提供报修电话及联系人，招标人保修后，24小时内响应，72小时内提供远程诊断和指导。
	付款方式	合同生效并收到相应发票后支付合同总额的70%作为进度款，材料到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的30%。
	交货期	合同签订后150天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前7天（自然日）通知送货