[BA202401238]光刻机采购计划备案成交公告
发布时间：2024-09-20 08:42:00
采购信息

项目编号	BA202401238	项目名称	光刻机采购计划
经办人单位	电子科学与工程学院	经办人	王宝续
预算金额	275000.00 人民币	成交金额	275000.00 人民币
成交供应商	苏州中芯启恒芯片科技有限公司	质保期	24 月
联系地址	江苏省-苏州市-工业园区东富路45号联创产业园1幢5层	采购单位	吉林大学电子科学与工程学院
付款方式	货到验收合格办理相关手续后100%付款。
供应商联系手机	18036092385	交货时间	成交单签订后30天内交货
交货地址	吉林省-长春市-前进大街2699号唐敖庆楼D区超净实验室
交货方式	乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。
包装及运费	由乙方免费提供及承担
验收方式	以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。
售后服务要求	1. 质保期：货到验收合格之日起24个月 2. 售后服务提供商：苏州中芯启恒芯片科技有限公司3. 售后服务机构情况： 规模（技术人员人数）：40人 联系人：曹军 联系电话：18036092385 服务机构地点：江苏省苏州市工业园区东富路45号联创产业园1幢5层 4. 服务响应时间与服务内容： 电话响应时间：1小时 人员到达现场时间：2小时 排除故障时间：48小时5. 培训方案： 培训次数：1次 培训人员数量：20人 培训地点：吉林大学 费用：免费 6. 本产品专用试剂的优惠供给计划：无7. 其它服务承诺：无

明细清单

采购品目	其他电工、电子生产设备	品牌名称	无
名称	光刻机	产地及生产商	中国-苏州中芯启恒芯片科技有限公司
规格型号	Cchip-0019	数量	1
计量单位	台	保修年限	2 年
单价	275000.00 人民币	总价	275000.00 人民币
主要技术参数	1） 曝光面积： 110mm× 110mm2） 曝光波长： 365nm： 40mW/cm2 3） 分辨力： 0.8um 4） 对准采用双视场对准显微镜： 通过 CCD+显示器对准， 光学合像， 光学+电子放大 400 倍 5） 显微镜扫描范围： X： ±50mm， Y： ±20mm 6） 对准精度： ±0.5um 7） 掩模尺寸： 3 英寸、 4 英寸、 5 英寸 8） 样片尺寸： 2 英寸、 3 英寸、 4 英寸； 厚度 0.1mm--5mm9） 曝光方式： 定时（倒计时方式） 10） 照明不均匀性： 2%（ f100mm 范围） 11） 掩模相对于样片运动行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 度 12） 曝光光源： 紫外 LED 13） 曝光强度： 40mW14） 最大胶厚： 350 um15） 光源平行性： ＜1.8° 16） 曝光头在曝光启动时， 水平方向自动伸出， 曝光结束后， 水平方向自动缩回 17） 采用 4.6 英寸高灵敏度触碰式液晶屏， 可直接设置曝光参数， 无需鼠标和键盘 18） 掩膜夹和承片台采用采用推拉式基准平板、 真空吸附的方式， 方便快捷， 工作效率高 19） 外形尺寸： 900mm（长） 900mm(宽) 800mm（高）